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J-GLOBAL ID:201702238929413122   整理番号:17A1058038

電子放出Siナノファセットの局所仕事関数のプロービング【Powered by NICT】

Probing local work function of electron emitting Si-nanofacets
著者 (3件):
資料名:
巻: 418  号: PA  ページ: 340-345  発行年: 2017年 
JST資料番号: B0707B  ISSN: 0169-4332  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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大面積Siナノファセットを室温(RT)での斜め入射低エネルギーAr~+イオンビーム照射により合成した。このようなナノファセットの電界放出特性を電流-電圧測定とFowler-Nordheim方程式に基づいて研究した。比較的高い電流密度を持つ低ターンオン電界は,形状と全体的な粗い形態のために得られた。イオン曝露時間を変化させることによるシリコンナノファセットからの調整可能な電界放出特性を実証した。Kelvinプローブ力顕微鏡(KPFM)測定と共に原子間力顕微鏡(A FM)を用いて,アスペクト比に関する情報を提供し,ファセットの頂点近傍の自然酸化物層の存在を確認した。不均一酸化はファセットの頂点での局所仕事関数を増加させ,同じからの電子放出を制限する。室温作製のために,この方法は,低コスト真空電界放出デバイス作製に非常に重要である。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (1件):
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熱電子放出,電界放出 
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