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J-GLOBAL ID：201702238974463449   整理番号：17A1140873

テラヘルツボロメータ応用に向けたGaAsP MEMS両持ち梁構造

GaAsP microelectromechanical beam structures for terahertz bolometer applications

著者 (6件)： QIU Boqi (Univ. of Tokyo) ,  ZHANG Ya (Univ. of Tokyo) ,  HOSONO Suguru (Univ. of Tokyo) ,  AKAHANE Koichi (NICT) ,  NAGAI Naomi (Univ. of Tokyo) ,  HIRAKAWA Kazuhiko (Univ. of Tokyo)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 78th  ページ： ROMBUNNO.7p-A409-7  発行年： 2017年08月25日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *ボロメータ ,  ガリウム化合物 ,  ヒ化物 ,  リン化物 ,  *MEMS ,  *テラヘルツ波 ,  微細構造 ,  光共振器 ,  共振周波数 ,  周波数特性 ,  ヒ化リン化ガリウム
準シソーラス用語： GaAsP

分類 (1件)： 赤外・遠赤外領域の測光と光検出器  (BD07032W)

タイトルに関連する用語 (3件)： 応用 ,  GaAsP ,  MEMS