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J-GLOBAL ID：201702239018084461   整理番号：17A0397542

単独起立カーボンナノチューブの成長に対する局在プラズマを用いたナノパターン形成

Nanopattern formation using localized plasma for growth of single-standing carbon nanotubes

著者 (2件)： JAVADI Mohammad (Univ. Tehran, Tehran, IRN) ,  ABDI Yaser (Univ. Tehran, Tehran, IRN)
資料名： Journal of Nanoparticle Research  (Journal of Nanoparticle Research)
巻： 19  号： 1  ページ： 17,1-9  発行年： 2017年01月 
JST資料番号： W1361A  ISSN： 1388-0764  CODEN： JNARFA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 電界放出に対するカーボンナノチューブ(CNT)の応用に関連して,本論文では,プラズマCVDによる単独起立CNTの成長に対して,局在プラズマを用いたナノパターン形成を論じた。この方法では,前もってパターン形成したNi触媒上にCNTを製造できるが,その際,Ni触媒は,プラズマを成長領域に閉じ込める役割も果たした。プラズマ局在化および誘電泳動力に基づいた数値シミュレーションの結果は,実験結果を確認した。

シソーラス用語： *カーボンナノチューブ ,  *結晶成長 ,  パターン形成 ,  *プラズマCVD ,  分布 ,  計算機シミュレーション ,  プログラムパッケージ ,  電子顕微鏡観察 ,  走査電子顕微鏡 ,  透過型電子顕微鏡 ,  Ramanスペクトル ,  光学顕微鏡法 ,  赤外吸収スペクトル ,  基板 ,  ニッケル
準シソーラス用語： ナノパターン形成 ,  電場分布 ,  COMSOL ,  Raman顕微鏡 ,  FTIRスペクトル

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (5件)： 起立 ,  カーボンナノチューブ ,  成長 ,  プラズマ ,  ナノパターン形成