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J-GLOBAL ID:201702239344427885   整理番号:17A0884115

SiC表面へのパルスレーザ照射の影響【Powered by NICT】

Effect of pulsed laser irradiation on the SiC surface
著者 (6件):
資料名:
巻: 14  号:ページ: 313-322  発行年: 2017年 
JST資料番号: W1929A  ISSN: 1546-542X  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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炭化けい素の表面形態と化学組成に及ぼす空気中とエポキシ接着剤との接着に及ぼすパルスレーザ照射(Nd:YVO_4,1064nm)の影響を調べた。走査型および透過型電子顕微鏡法,原子間力顕微鏡,及びX線光電子分光法は,レーザ処理は表面の汚染レベルを減少させ,SiC表面にシリカを使ったナノ構造化柱状層の形成を誘導することを明らかにした。五つの異なる微細構造領域の形成機構を本論文で述べた。添加では,酸化物層とSiC間の5 10-nm厚の黒鉛層の生成が観察された。H~EA9321と接合試験はナノ構造柱状シリカ層が完全に接着剤による浸潤,結合された特定の面積の有意な増加と接着剤/基板界面での機械的連結に至ることを示した。それにもかかわらず,接合したSiC試料の見かけのせん断強度はレーザナノ構造SiCの重ねSiCの約42MPaから表面のレーザ処理後に減少した約35MPaまで僅かであった。グラファイト層の形成はレーザ照射で変化したSiC表面の貧弱な接着特性の原因であることが分かった。Copyright 2017 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (1件):
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セラミック・陶磁器の製造 
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