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J-GLOBAL ID：201702239478806954   整理番号：17A0908234

反応性スパッタしたナノ結晶Ti Al Ni-N薄膜の微細構造と機械的性質【Powered by NICT】

Microstructure and mechanical properties of reactive sputtered nanocrystalline Ti-Al-Ni-N thin films

著者 (7件)： He Chunlin (Liaoning Provincial Key Laboratory of Advanced Materials, Shenyang University, Shenyang 110044, China) ,  Xie Leipeng (Liaoning Provincial Key Laboratory of Advanced Materials, Shenyang University, Shenyang 110044, China) ,  Zhang Jinlin (Liaoning Provincial Key Laboratory of Advanced Materials, Shenyang University, Shenyang 110044, China) ,  Ma Guofeng (Liaoning Provincial Key Laboratory of Advanced Materials, Shenyang University, Shenyang 110044, China) ,  Du Zhaofu (Research Institute of Functional Materials, Central Iron & Steel Research Institute, Beijing 100081, China) ,  Wang Jianming (Liaoning Provincial Key Laboratory of Advanced Materials, Shenyang University, Shenyang 110044, China) ,  Zhao Dongliang (Research Institute of Functional Materials, Central Iron & Steel Research Institute, Beijing 100081, China)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 320  ページ： 472-477  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 種々のNi含有量のナノ結晶Ti Al Ni N薄膜は,他の後のTi,AlとNiターゲットをスパッタリング600°CでN_2ガス雰囲気中と膜の蒸着時におけるTi,AlとNi原子間の相互拡散によって調製した。堆積した膜の微細構造と機械的特性を,電界放出走査電子顕微鏡,原子間力顕微鏡,X線回折,X線光電子分光法およびナノインデンテーションにより調べた。堆積した膜はB1-NaCl構造に属し,それらの優先配向は,Ni含有量に依存しない(200)面とNi含有量の減少した格子定数,固溶体Ti Al Ni膜は蒸着中の小さなNi原子によるTi又は/及びAl原子置換により形成されたことを示した,結晶Niも高Ni含有量により形成された。Ti Al Ni Nナノ複合材料膜は滑らかで,それらの平均粒径は約8nm,Ti-Al-N膜のそれよりも小さかった。Ni含有量が0から17.42at.%に増加するとTi Al Ni N膜のナノ硬さと弾性率は33.0から12.2GPaにそれぞれ332.0から210.9GPaまで減少した。しかし,堆積した膜の損傷許容性は大きく増加したNiを添加した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： ナノインデンテーション ,  弾性係数 ,  *微細構造 ,  複合膜 ,  塩化ナトリウム ,  蒸着 ,  *反応性スパッタリング ,  *チタン ,  X線回折 ,  *機械的性質 ,  *ナノ結晶 ,  *アルミニウム ,  *ニッケル ,  *薄膜
準シソーラス用語： 電界放出型走査電子顕微鏡 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： Ti Al Ni N ,  ナノ結晶膜 ,  反応性スパッタリング ,  相互拡散 ,  Microstructure ,  機械的性質

分類 (3件)： 金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V) ,  機械的性質  (WB02030U) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (8件)： 反応性スパッタ ,  ナノ結晶 ,  Ti ,  Al ,  Ni ,  薄膜 ,  微細構造 ,  機械的性質