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J-GLOBAL ID：201702239925287463   整理番号：17A1056795

ZnSe膜の熱酸化によるZnO膜の構造,形態及び光学的性質【Powered by NICT】

Structural, morphological and optical properties of ZnO films by thermal oxidation of ZnSe films

著者 (6件)： Ou Kai (Key Laboratory of Luminescence and Optical Information, Ministry of Education, Institute of Optoelectronic Technology, Beijing Jiaotong University, Beijing 100044, China) ,  Wang Shenwei (Key Laboratory of Luminescence and Optical Information, Ministry of Education, Institute of Optoelectronic Technology, Beijing Jiaotong University, Beijing 100044, China) ,  Wan Guangmiao (Key Laboratory of Luminescence and Optical Information, Ministry of Education, Institute of Optoelectronic Technology, Beijing Jiaotong University, Beijing 100044, China) ,  Zhang Xinwu (Key Laboratory of Luminescence and Optical Information, Ministry of Education, Institute of Optoelectronic Technology, Beijing Jiaotong University, Beijing 100044, China) ,  Duan Xiaoxia (Key Laboratory of Luminescence and Optical Information, Ministry of Education, Institute of Optoelectronic Technology, Beijing Jiaotong University, Beijing 100044, China) ,  Yi Lixin (Key Laboratory of Luminescence and Optical Information, Ministry of Education, Institute of Optoelectronic Technology, Beijing Jiaotong University, Beijing 100044, China)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 634  ページ： 51-55  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,酸化亜鉛(ZnO)薄膜を,触媒あるいは添加物を導入することなく,酸素雰囲気中でのセレン化亜鉛膜の熱酸化により合成した。X線回折と形態分析によると,ZnO膜は六方晶ウルツ鉱構造,高い結晶品質を示した。約370nm(紫外)と525nm(緑)での弱い発光ピークでの強い発光ピークが光ルミネセンススペクトルで観察された。アニーリング条件への光ルミネセンス強度の依存性を実験で調べた。アニーリング温度と時間の増加に伴って,光ルミネセンス強度は酸素,最適条件であると考えられている中で45分間450°Cでピークに達した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 六方晶系 ,  *光学的性質 ,  発光 ,  *セレン化亜鉛 ,  X線回折 ,  *熱酸化 ,  酸素 ,  焼なまし ,  *酸化亜鉛 ,  光ルミネセンス
準シソーラス用語： アニーリング温度 ,  光ルミネセンススペクトル ,  結晶品質 ,  ウルツ鉱型構造 ,  酸素雰囲気 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： セレン化亜鉛 ,  酸化亜鉛 ,  熱酸化 ,  薄膜 ,  アニーリング

分類 (2件)： 半導体のルミネセンス  (BM08092S) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (5件)： ZnSe ,  熱酸化 ,  ZnO ,  形態 ,  光学的性質