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J-GLOBAL ID：201702240000997247   整理番号：17A1020986

反応性スパッタ蒸着したCo/Ti多層における界面平滑化に及ぼす乾燥空気の影響【Powered by NICT】

Effect of dry air on interface smoothening in reactive sputter deposited Co/Ti multilayer

著者 (13件)： Biswas A. (Atomic & Molecular Physics Division, Bhabha Atomic Research Centre, 400085 Mumbai, India) ,  Porwal A. (Department of Electronics, Banasthali University, 304022 Jaipur, India) ,  Bhattacharya Debarati (Solid State Physics Division, Bhabha Atomic Research Centre, 400085 Mumbai, India) ,  Prajapat C.L. (Technical Physics Division, Bhabha Atomic Research Centre, 400085 Mumbai, India) ,  Ghosh Arnab (Department of Physics, Indian Institute of Technology Kharagpur, 721302 Kharagpur, India) ,  Nand Mangla (Atomic & Molecular Physics Division, Bhabha Atomic Research Centre, 400085 Mumbai, India) ,  Nayak C. (Atomic & Molecular Physics Division, Bhabha Atomic Research Centre, 400085 Mumbai, India) ,  Rai S. (Indus Synchrotron Utilization Section, Raja Ramana Centre for Advanced Technology, 752013 Indore, India) ,  Jha S.N. (Atomic & Molecular Physics Division, Bhabha Atomic Research Centre, 400085 Mumbai, India) ,  Singh M.R. (Technical Physics Division, Bhabha Atomic Research Centre, 400085 Mumbai, India) ,  Bhattacharyya D. (Atomic & Molecular Physics Division, Bhabha Atomic Research Centre, 400085 Mumbai, India) ,  Basu S. (Solid State Physics Division, Bhabha Atomic Research Centre, 400085 Mumbai, India) ,  Sahoo N.K. (Atomic & Molecular Physics Division, Bhabha Atomic Research Centre, 400085 Mumbai, India)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 416  ページ： 168-177  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： トップ表面粗さと界面粗さはX線および中性子薄膜多層素子の性能を決定する重要な要素の一つである。Co層の堆積中のスパッタリング雰囲気中でアルゴンと空気を混合することにより,Co/Tiスーパーミラー偏光子の偏極中性子反射率(PNR)は非常に改善されることが観察された。断面HRTEM測定は,スーパーミラーにおける鋭い界面は,アルゴンと空気の混合雰囲気下で多層膜の蒸着の場合に達成できることを明らかにした。この界面改質機構をさらに調べるために,本論文で三層Co/Ti/Co試料と20Co/Ti周期的多層試料の二セットを調製した;一組のすべての層がアルゴン雰囲気下でのみ堆積し,他のセットでは,Co層は,アルゴンと空気の混合雰囲気下で堆積した。これらの試料は,すれすれ入射角で2.5Åの波長の中性子を用いた1.54Å波長および偏極中性子反射率(PNR)のX線による鏡面及び非鏡面X線反射率(GIXR)を測定することによって特性化した。Co層は,アルゴンと空気の混合雰囲気下で堆積した20層周期的多層のBraggピークでX線および中性子鏡面反射率が増加することが観察された。界面と磁気的性質に及ぼす空気の影響に関する詳細な情報は,測定されたスペクトルを適合させることにより得られた。以上の情報は,続いて,試料のXRDおよび磁気測定によって補完されている。XPSとXANES測定も酸化コバルトまたはコバルト窒化物層はスパッタリング雰囲気中の空気の使用により形成されるかどうかを調べるために実施した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： コバルト ,  鏡面反射 ,  多層膜 ,  スパッタリング ,  *界面 ,  X線 ,  窒化物 ,  すれすれ入射 ,  アルゴン ,  キャラクタリゼーション ,  中性子 ,  *スパッタ蒸着 ,  薄膜 ,  *多層 ,  X線回折

著者キーワード (4件)： 界面粗さ ,  スーパーミラー ,  PNR ,  磁気多層

分類 (2件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  固体中の拡散一般  (BL06021L)

タイトルに関連する用語 (8件)： 反応性 ,  スパッタ蒸着 ,  CO ,  Ti ,  多層 ,  界面 ,  平滑化 ,  乾燥空気