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J-GLOBAL ID：201702240020568637   整理番号：17A0470679

波長走査Fizeau干渉計における透明平行板の内部反射を抑制するための位相アルゴリズム【Powered by NICT】

Phase-measuring algorithm to suppress inner reflection of transparent parallel plate in wavelength tuning Fizeau interferometer

著者 (3件)： Kim Yangjin (School of Mechanical Engineering, Pusan National University, 2, Busandaehak-ro 63beon-gil, Geumjeong-gu, Busan 46241, South Korea) ,  Sugita Naohiko (Department of Mechanical Engineering, The University of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, Japan) ,  Mitsuishi Mamoru (Department of Mechanical Engineering, The University of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, Japan)
資料名： Precision Engineering  (Precision Engineering)
巻： 48  ページ： 67-74  発行年： 2017年 
JST資料番号： A0734B  ISSN： 0141-6359  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 光学的厚さ変化を透明な光学デバイスの基本的特性である。波長同調Fizeau干渉計を用いてこの変化を測定するとき,測定精度は使用する位相シフトアルゴリズムに依存する。位相シフトアルゴリズムは,測定中に生じるいくつかの誤差,位相シフト誤差,結合誤差,バイアス変調強度を含むを補うべきである。これらの誤差のなかには,透明板と位相シフト誤差の内部反射から生じる高調波の間の結合誤差は,以前に考慮されていない。波長同調中の強度の位相シフト,結合誤差,バイアス変調のミスキャリブレーションと一次非線形性を補償できる,19サンプル位相シフトアルゴリズムの導出を提示した。試料アルゴリズムの特性を周波数領域でFourier表現に関して推定した。試料アルゴリズムを用いて行った測定の位相誤差を議論し,比較した他の従来の位相シフトアルゴリズムを用いて得られた測定した。最後に,溶融シリカ平行板の光学的厚さ変化は波長同調Fizeau干渉計とサンプルアルゴリズムを用いて得られた。測定精度は,クロストーク雑音のリップルを比較する他の位相シフトアルゴリズムを用いて計算したものとによって議論した。実験結果は,溶融シリカ板の光学的厚さ変化測定精度は約2nmであることを示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： バイアス ,  *位相 ,  同調 ,  高調波 ,  *アルゴリズム ,  石英ガラス ,  測定精度 ,  非線形性 ,  光学的厚さ ,  *波長 ,  クロストーク ,  位相シフト ,  *内部反射 ,  周波数領域
準シソーラス用語： *Fizeau干渉計 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 精密測定 ,  干渉測定 ,  光学的厚さ ,  位相シフトアルゴリズム ,  位相誤差

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (7件)： 波長 ,  走査 ,  Fizeau干渉計 ,  平行板 ,  内部反射 ,  位相 ,  アルゴリズム