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J-GLOBAL ID:201702240073053656   整理番号:17A1571316

低周波SSoC応用のためのMEMS二元インバータの最適化,設計と解析【Powered by NICT】

Optimization, design and analysis of MEMS binary inverter for low frequency SSoC applications
著者 (2件):
資料名:
巻: 2017  号: SPIN  ページ: 405-409  発行年: 2017年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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micro_cantilever基づくMEMS二元インバータの設計最適化についての概要を提供することを意図している。はインバータの重要なパラメータの減少のための設計と最適化スキームを含んでいる。の能動電子部品でのセンサの統合はオンチップ(SSoC)センサシステムにおける重要な問題の一つであり,本研究は本質的にCMOS-MEMS統合の必要性を減少させた。統合は二つの分離したプロセスフローを必要とし,また,MEMSを介して作ることができる回路トポロジー場合多くの資源を節約できると信じている。インバータは[1]に関して詳細に設計し最適化した。解析とシミュレーション設計は類似した値に収束し,本論文が提案する現在の設計は他の報告された設計より有意に改善することができた。本インバータの動作特性を生物医学,音声と低周波運用のための最も適している。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 

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