文献

J-GLOBAL ID：201702240081066645   整理番号：17A1186025

ナノ結晶のADF-STEMイメージングにおけるドーパント視認性に関する小角mistiltsの影響【Powered by NICT】

Effects of small-angle mistilts on dopant visibility in ADF-STEM imaging of nanocrystals

著者 (3件)： Held Jacob T. (Department of Chemical Engineering and Materials Science, University of Minnesota, Minneapolis, MN 55455, USA) ,  Duncan Samuel (Department of Chemical Engineering and Materials Science, University of Minnesota, Minneapolis, MN 55455, USA) ,  Mkhoyan K. Andre (Department of Chemical Engineering and Materials Science, University of Minnesota, Minneapolis, MN 55455, USA)
資料名： Ultramicroscopy  (Ultramicroscopy)
巻： 177  ページ： 53-57  発行年： 2017年 
JST資料番号： W0972A  ISSN： 0304-3991  CODEN： ULTRD  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 画像シミュレーションと定量的ADF-STEMイメージングは薄膜中の置換的にドープした原子の三次元位置を決定するための強力な方法であることが証明されている。軽くドープしたナノ結晶へのこの技法の拡大は,そのようなシステムにおける正確な方位決定の困難性のために,ドーパント視認性に及ぼす試験片mistiltの影響だけでなく,ビーム下の結晶運動の理解が必要である。本研究では,ADF-STEMイメージングに及ぼす試験片mistiltの影響をモデル系としてゲルマニウムをドープしたシリコンナノ結晶を用いて評価した。ドーパント可視度は試料mistiltの強い関数であることを示し,試料配向の精度は三次元ドーパント位置の解析において重要な因子であるが,mistiltに対する感受性をSTEMプローブ収束角を増加させ,ADF検出器内部角を最適化することにより弱められる。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 可視度 ,  最適化 ,  三次元 ,  *ナノ結晶 ,  感受性 ,  *結晶 ,  *画像処理 ,  プローブ ,  薄膜 ,  ゲルマニウム ,  *ドーパント ,  検出器 ,  ドーピング
準シソーラス用語： イメージシミュレーション ,  *視認性 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (4件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  不純物・欠陥の電子構造  (BM02100I) ,  半導体のルミネセンス  (BM08092S) ,  半導体結晶の電子構造  (BM02060N)

タイトルに関連する用語 (6件)： ナノ結晶 ,  ADF ,  STEM ,  イメージング ,  ドーパント ,  視認性