スキャニング不用微小角発光蛍光X線の実験室でのセットアップ

BAUMANN J.; BAUMANN J.; HERZOG C.; SPANIER M.; GROETZSCH D.; LUEHL L.; WITTE K.; JONAS A.; GUENTHER S.; FOERSTE F.; HARTMANN R.; HUTH M.; KALOK D.; STEIGENHOEFER D.; KRAEMER M.; HOLZ T.; DIETSCH R.; STRUEDER L.; STRUEDER L.; KANNGIESSER B.; MANTOUVALOU I.

文献

J-GLOBAL ID：201702240131135671 整理番号：17A0621875

スキャニング不用微小角発光蛍光X線の実験室でのセットアップ

Laboratory Setup for Scanning-Free Grazing Emission X-ray Fluorescence

出版者サイト複写サービスで全文入手 {{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=17A0621875&COPY=1") }}
高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=17A0621875&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=A0395A") }}

著者 (21件)： , , , , , , , , , , , , , , , , , , , ,
資料名：
巻： 89 号： 3 ページ： 1965-1971 発行年： 2017年02月07日
JST資料番号： A0395A ISSN： 0003-2700 CODEN： ANCHAM 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

本研究は,特に軟X線領域における蛍光X線(XRF)一般と微小角発光蛍光X線(GEXRF)の分析的潜在力と実験室におけるセットアップを示したものである。GEXRFプロファイルにおける重要で,特徴的な最小値強度を利用することにより,C-Ni二層の厚みのサブナノメータースケールでの変動を解像することが出来た。試料に大きなフットプリントが不可欠な微小角入射蛍光X線(GIXRF)と対照的に100×500μm²の方位解像力を可能となる。スキャニング無しの測定は1時間という記録時間を可能とし,GEXRFプロファイルを同時に測定することが可能である。後者は将来半導体産業において,非破壊インラインプロセスコントロールに寄与するであろう。

, , , ,
, ,

X線技術 , その他の物理分析

, , , ,

前のページに戻る