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J-GLOBAL ID：201702240193398610   整理番号：17A1295403

容量性フレキシブル圧力センサの性能に及ぼす微細構造の影響に関する研究【JST・京大機械翻訳】

The Performance of Flexible Capacitive Pressure Sensor with Microstructured PDMS Films

著者 (8件)： Quan Yong (電子科技大学光電信息学院,成都,610054) ,  Wei Xiongbang (電子科技大学光電信息学院,成都,610054) ,  Xiao Lun (電子科技大学光電信息学院,成都,610054) ,  Wu Tao (電子科技大学光電信息学院,成都,610054) ,  Pang Hanying (電子科技大学光電信息学院,成都,610054) ,  Wu Shuanghong (電子科技大学光電信息学院,成都,610054) ,  Chen Zhi (電子科技大学光電信息学院,成都,610054) ,  Jiang Yadong (電子科技大学光電信息学院,成都,610054)
資料名： Chuangan Jishu Xuebao  (Chuangan Jishu Xuebao)
巻： 30  号： 3  ページ： 337-340  発行年： 2017年 
JST資料番号： C2450A  ISSN： 1004-1699  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： サンドイッチ構造を有する容量性フレキシブル圧力センサを設計し,その性能を研究した。このセンサは銀ナノワイヤーを電極材料とし、ポリジメチルシロキサン(PDMS)をフレキシブル基板とし、同時にガラス面ガラスと光面ガラスをそれぞれフレキシブル基板の調製テンプレートとして用い、ナノ構造と平面構造のPDMS薄膜を作製した。次に,AgNWs/PDMS複合電極を,スプレー層法によって調製し,そして,2層電極を,誘電体層として,そして,2つの電極を用いて,フレキシブルな圧力センサを得て,そして,センサ性能に及ぼすセンサの電極微細構造の影響を,系統的に研究した。本研究は,ナノ構造を有するAgNWs/PDMS複合膜センサの感度が1.0kPa-1であり,平面構造のAgNWs/PDMS複合薄膜センサの感度が0.6kPa-1であることを示した。このことは,ナノ構造をもつフレキシブル基板がデバイスの感度を著しく向上させることができることを示している。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： ポリジメチルシロキサン ,  *センサ ,  ガラス ,  *圧力センサ ,  薄膜 ,  ナノ構造 ,  *微細構造 ,  電極材料 ,  平面構造 ,  サンドイッチ構造 ,  フレキシブル基板
準シソーラス用語： 薄膜センサ ,  膜センサ ,  複合電極 ,  銀ナノワイヤ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： flexible pressure sensor ,  micro-nano structure ,  polydimethylsiloxane(PDMS) ,  silver nanowires

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  固体デバイス材料  (NC03020K)

タイトルに関連する用語 (4件)： 容量性 ,  圧力センサ ,  微細構造 ,  研究