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J-GLOBAL ID：201702240391624026   整理番号：17A0644740

メタマテリアル・プラズモニクス光デバイスの応用最前線-5 表面プラズモンフィルタを用いた超小型分光センサに用いられるナノインプリント技術とセンサの応用展開検討

著者 (1件)： 北原淑行 (SCIVAX)
資料名： 電気学会誌  (電気学会雑誌)
巻： 137  号： 6  ページ： 358-360  発行年： 2017年06月01日 
JST資料番号： F0011A  ISSN： 1340-5551  CODEN： DGZAAW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 表面プラズモンフィルタを用いた超小型分光センサapolloに用いられるSCIVAX(株)のナノインプリント技術を紹介するとともに,apolloの応用展開について検討した。nanoLambdaが開発したapolloは,約5×5×5mmの超小型であり,二次元半導体センサのセルごとに異なる色のカラーフィルタを搭載している。カラーフィルタは表面プラズモンフィルタであり,フィルタは色ごとに異なるため,フィルタ全体では多種類の複雑な微細構造を持っている。このフィルタを量産する生産技術としてナノインプリントが選ばれた。本稿では,ナノインプリントによる表面プラズモンフィルタのパターニング技術を紹介した。また,apolloの応用展開のために,apolloと光源を一体化した反射スペクトル測定器を試作し,一般ユーザが分光器を簡単に取り扱える可能性を示した。

シソーラス用語： 分光計 ,  *パターン転写 ,  押付成形 ,  *表面プラズモン ,  パターン形成
準シソーラス用語： *ナノインプリント ,  パターンニング

分類 (1件)： 分光法と分光計一般  (BD07041Q)

タイトルに関連する用語 (8件)： メタマテリアル ,  プラズモニクス ,  光デバイス ,  応用 ,  表面プラズモン ,  光センサ ,  ナノインプリント ,  展開