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J-GLOBAL ID：201702240412390854   整理番号：17A1632747

中空マイクロカンチレバーを用いたフェムトリットル体積液体の制御された投与のためのモデル【Powered by NICT】

A model for controlled dosing of femto-litre volume liquids using hollow microcantilever

著者 (6件)： Cao Xi (Delft Center for Systems and Control, Delft University of Technology, The Netherlands) ,  Gruiter Rick de (Precision and Microsystems Engineering, Delft University of Technology, The Netherlands) ,  van Oorschot Ralph (MA3 Solutions B.V., Eindhoven, The Netherlands) ,  Baldi Simone (Delft Center for Systems and Control, Delft University of Technology, The Netherlands) ,  HosseinNia Hassan (Precision and Microsystems Engineering, Delft University of Technology, The Netherlands) ,  Ghatkesar Murali Krishna (Precision and Microsystems Engineering, Delft University of Technology, The Netherlands)
資料名： IFAC PapersOnLine  (IFAC PapersOnLine)
巻： 50  号： 1  ページ： 15542-15547  発行年： 2017年 
JST資料番号： W3101A  ISSN： 2405-8963  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 中空マイクロカンチレバーは原子間力顕微鏡(A FM)装置におけるフェムトリットル(10~ 15 L)体積範囲の液体を分配と吸引するために従来のマイクロカンチレバーの代わりに用いた。カンチレバーの固有力検知能力を用いて,流体操作をその場監視することである。この小さなスケールでは,のようなパラメータ:表面エネルギー,蒸発,粘度及び温度を制御操作のための重要になっている。従来のA FMでは,これらのパラメータはフィードバックパラメータとして考慮しないのが普通である。本研究では,投薬プロセス及びプロセスの解析的動的モデルに初期実験結果を報告した。モデルはカンチレバーチップと基板間の液体ブリッジ,90%以上(VAF)を占め分散投与プロセスを記述に基づいている。はこのモデルを使用し,正確な調剤と吸引のための制御システムを実装することを目指す。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *投与 ,  表面エネルギー ,  制御作業 ,  *片持梁 ,  ダイナミックモデル ,  制御系 ,  原子間力顕微鏡 ,  *モデル ,  粘度
準シソーラス用語： 液体ブリッジ ,  *マイクロカンチレバー , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 動的モデル化 ,  中空片持梁 ,  ナノテクノロジー ,  フェムトリットル ,  原子間力顕微鏡

分類 (2件)： 梁,桁  (HD03020H) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 中空 ,  マイクロカンチレバー ,  体積 ,  投与 ,  モデル