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J-GLOBAL ID:201702240606748833   整理番号:17A1731243

CMUT分離した単離ポスト【Powered by NICT】

CMUT isolated isolation posts
著者 (2件):
資料名:
巻: 2017  号: IUS  ページ:発行年: 2017年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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CMUTは崩壊または崩壊スナップバックモードで動作できる,いくつかの新しい操作モードのを可能にすることができた。しかし,スナップダウン電圧を変更し,最終的にデバイスの失敗の結果となる誘電体帯電問題がなく,そのことができるという証拠はほとんどない。二酸化けい素絶縁ポストは以前に導入し,体積帯電効果を緩和するための有望であることを示したが,長期信頼性は示されなかったと帯電効果を完全に除去できなかった。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (1件):
分類
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音響変換器,その他の機器 
タイトルに関連する用語 (2件):
タイトルに関連する用語
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