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J-GLOBAL ID：201702240608516973   整理番号：17A1046957

MOCVDによって成長したβ-Ga₂O₃薄膜の光学特性に関する研究

Study on the optical properties of β-Ga₂O₃ films grown by MOCVD

著者 (8件)： HU Daqiang (Jilin Univ., Changchun, CHN) ,  ZHUANG Shiwei (Jilin Univ., Changchun, CHN) ,  MA Zhengzheng (Jilin Univ., Changchun, CHN) ,  DONG Xin (Jilin Univ., Changchun, CHN) ,  DU Guotong (Jilin Univ., Changchun, CHN) ,  ZHANG Baolin (Jilin Univ., Changchun, CHN) ,  ZHANG Yuantao (Jilin Univ., Changchun, CHN) ,  YIN Jingzhi (Jilin Univ., Changchun, CHN)
資料名： Journal of Materials Science. Materials in Electronics  (Journal of Materials Science. Materials in Electronics)
巻： 28  号： 15  ページ： 10997-11001  発行年： 2017年08月 
JST資料番号： W0003A  ISSN： 0957-4522  CODEN： JMTSAS  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 有機金属化学蒸着(MOCVD)によって,β-Ga₂O₃膜を種々の基板温度でc面サファイア基板上に成長させた。基板温度が増加するに連れて,膜構造は,アモルファスから単一方位β-Ga₂O₃に変化した。750及び800°Cで成長させた膜において,規則正しい形状の結晶と輪郭がハッキリした境界を持つ緻密な表面が観察された。このことは,結晶品質が改善されたことを示唆した。700°Cを超える温度で成長したβ-Ga₂O₃膜において,紫外から可視波長領域にわたる高い光学透明性が観察された。フォトルミネセンス(PL)から,主要な紫外-青色発光が観察された。青色発光対紫外発光の相対強度は,測定温度の上昇と共に徐々に減少した。膜の成長条件を最適化することによって,高品質β-Ga₂O₃膜を深紫外検出器,紫外発光デバイス及び透明電極に広く応用できる。

シソーラス用語： *酸化ガリウム ,  *光学的性質 ,  *MOCVD ,  薄膜 ,  走査電子顕微鏡 ,  光透過 ,  光ルミネセンス ,  基板温度 ,  サファイア ,  非晶質 ,  透明度
準シソーラス用語： アモルファス ,  光学特性

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： MOCVD ,  成長 ,  β-Ga2O3 ,  薄膜 ,  光学特性 ,  研究