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J-GLOBAL ID：201702240633821274   整理番号：17A1455004

Alの研究Ni金属電極をもつZnO系MSM UVセンサ【Powered by NICT】

A study of Al:ZnO based MSM UV sensors with Ni metal electrodes

著者 (2件)： Singh Shaivalini (Department of Electronic Engineering, Yeungnam University, Gyeongsan-si, Gyeongsangbuk-do, South Korea) ,  Park Si-Hyun (Department of Electronic Engineering, Yeungnam University, Gyeongsan-si, Gyeongsangbuk-do, South Korea)
資料名： Optik  (Optik)
巻： 145  ページ： 576-581  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0251A  ISSN： 0030-4026  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究報告,ニッケル(Ni)金属電極をもつAlドープZnO(Al:ZnO)に基づく金属-semiconductor-金属(MSM)UVセンサの調製と特性化。高周波マグネトロンスパッタリング法をp型Si基板上にAl:ZnO薄膜を堆積するために用いた。Al:ZnO薄膜の構造と元素組成をX線回折(XRD)とX線光電子分光法(XPS)により調べた。XRDスペクトルは,Al:ZnO薄膜は良好な結晶品質を持つことを示した。XPSの結果は,Zn,AlおよびO元素の存在を確認し,Al:ZnO薄膜における光結晶化。最後にMSMデバイスはNiの金属電極とAl:ZnO薄膜の活性層で作製した。Niの指間接触は,光リソグラフィーによるAl:ZnO/Si上にパターン形成した。15μmと30μmの同じフィンガ間隔と幅を持つ二MSMデバイスを実験で作製した。電気的測定は,これらのデバイスのUV検出を調べるために行った。これら低電圧MSM UVセンサは実用的応用に対してやすいことができた。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： パターン形成 ,  X線回折 ,  *酸化亜鉛 ,  *アルミニウム ,  電気測定 ,  X線光電子分光法 ,  *センサ ,  *ニッケル ,  キャラクタリゼーション ,  フォトリソグラフィー
準シソーラス用語： 結晶品質 ,  ZnOフィルム ,  シリコンウエハ ,  RFマグネトロンスパッタリング ,  *金属電極 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： Al:ZnO ,  RFスパッタリング ,  UVセンサ ,  金属-semiconductor-金属 ,  ニッケル

分類 (1件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H)

タイトルに関連する用語 (6件)： Al ,  研究 ,  Ni ,  金属電極 ,  ZnO ,  MSM