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J-GLOBAL ID：201702240849446361   整理番号：17A1297959

LTCC構造内に設けられた圧電振動デバイスの設計とインテグレーション

Design and integration of a piezoelectric vibrating device in an LTCC structure

著者 (7件)： BELAVIC Darko (HIPOT-RR, Otocec, SVN) ,  BELAVIC Darko (Jozef Stefan Inst., Ljubljana, SVN) ,  BELAVIC Darko (Centre of Excellence NAMASTE, ljubljana, SVN) ,  BRADESKO Andraz (Jozef Stefan Inst., Ljubljana, SVN) ,  KOS Tomaz (Jozef Stefan Inst., Ljubljana, SVN) ,  ROJAC Tadej (Jozef Stefan Inst., Ljubljana, SVN) ,  ROJAC Tadej (Centre of Excellence NAMASTE, ljubljana, SVN)
資料名： Microelectronics International  (Microelectronics International)
巻： 34  号： 3  ページ： 121-126  発行年： 2017年 
JST資料番号： H0949A  ISSN： 1356-5362  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： LTCCに3種類の振動デバイスを設置した構造について,その設計,製造,評価について研究した。3種類の振動デバイスは,それぞれ厚膜アクチュエータ,ディスクアクチュエータ,端部固定したダイヤフラムの中央部としてのアクチュエータをそれぞれ中央に配置している。厚膜およびディスクアクチュエータの振動膜がLTCCであるのに対し,3番目の振動膜は圧電材料そのものである。これらの構造と実用化の検討には,解析的手法および有限要素法を用いた。その結果,厚膜アクチュエータが最も低い損失係数を示し,最低駆動電圧で最大のダイヤフラム変位量を示した。また厚膜アクチュエータの共鳴周波数は印加負荷に対し最も敏感であった。

シソーラス用語： *圧電気振動 ,  *アクチュエータ ,  *厚膜 ,  円板 ,  ダイヤフラム ,  *基板 ,  ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  電気測定 ,  数値解析 ,  包装 ,  圧力センサ
準シソーラス用語： *LTCC基板 ,  PZT【鉛化合物】 ,  インピーダンス解析 ,  ディスク ,  パッケージング ,  *圧電振動 ,  有限要素解析

分類 (2件)： 圧電デバイス  (NC03110I) ,  セラミック・陶磁器一般  (YC03010K)

タイトルに関連する用語 (4件)： LTCC ,  圧電振動デバイス ,  設計 ,  インテグレーション