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J-GLOBAL ID：201702240857801130   整理番号：17A1058282

電着したアンバFe-Ni合金/SiC複合膜の特性【Powered by NICT】

Properties of electrodeposited invar Fe-Ni alloy/SiC composite film

著者 (6件)： Nagayama Tomio (Kyoto Municipal Institute of Industrial Technology and Culture, Nakagyo-ku, Kyoto 600-8815, Japan) ,  Nagayama Tomio (Graduate School of Materials Science, Nara Institute of Science and Technology, Ikoma-shi, Nara 630-0192, Japan) ,  Yamamoto Takayo (Kyoto Municipal Institute of Industrial Technology and Culture, Nakagyo-ku, Kyoto 600-8815, Japan) ,  Nakamura Toshihiro (Kyoto Municipal Institute of Industrial Technology and Culture, Nakagyo-ku, Kyoto 600-8815, Japan) ,  Fujiwara Yutaka (Graduate School of Materials Science, Nara Institute of Science and Technology, Ikoma-shi, Nara 630-0192, Japan) ,  Fujiwara Yutaka (Osaka Municipal Technical Research Institute, Joto-ku, Osaka 536-8553, Japan)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 322  ページ： 70-75  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 電着したFe-Niアンバ合金/SiC複合材料膜を複合材料電気めっき法によって得られ,複合膜の性質はそれらの微細構造との関係を評価した。20.8vo1%の最大SiC含有量のアンバFe-35~37mass%Ni合金/SiC複合材料膜が得られた。アンバFe-35 37mass%Ni合金膜へのSiC粒子の共電着は堆積したままの膜の硬度を増加させ,600°Cでの熱処理による硬さの減少を抑制した熱処理である電着インバー膜の熱膨張係数を減らすために重要である。SiCの約20vo1%複合膜の硬度は600°C熱処理後ほとんど変化しなかった。これはSiC粒子分布による結晶粒成長の抑制に起因した。600°Cでの熱処理後に37mass%Ni合金/SiC(約20vo1%)複合膜に電着したアンバFe-35は十分に高い硬度と低いCTEを示し,従って,高い機械的強度と高い熱寸法安定性が要求されるこれらの複合膜は,MEMS素子の作製に用いることができる。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 熱処理 ,  *炭化ケイ素 ,  寸法安定性 ,  微細構造 ,  *電着 ,  *複合膜 ,  MEMS ,  硬度 ,  *アンバ ,  結晶成長 ,  複合材料 ,  熱膨張 ,  熱膨張係数 ,  機械的強度 ,  電気めっき

著者キーワード (6件)： 複合電気めっき ,  インバー合金 ,  SiC粒子 ,  熱膨張 ,  Hardness ,  熱処理

分類 (4件)： 電気めっき  (WC08023B) ,  分散強化合金  (WE04030R) ,  機械的性質  (WB02030U) ,  無電解めっき  (WC08024S)

タイトルに関連する用語 (5件)： 電着 ,  アンバ ,  Fe-Ni合金 ,  SiC ,  複合膜