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J-GLOBAL ID:201702241050383332   整理番号:17A1085006

フェムト秒レーザ励起によるナノ結晶マイクロ/ナノ構造の直接印刷

Direct printing of micro/nanostructures by femtosecond laser excitation of nanocrystals
著者 (2件):
資料名:
巻: 10091  ページ: 100910W.1-100910W.5  発行年: 2017年 
JST資料番号: D0943A  ISSN: 0277-786X  CODEN: PSISDG  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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フェムト秒レーザ集合やナノ材料の堆積は三次元のマイクロ/ナノ付加製造(AM)を可能にするが,集合や堆積の機構はまだ完全に解明されていない。本論文では,中等度のピーク強度(1011~1012W/cm2)のフェムト秒レーザで励起したナノ結晶の二次元/三次元堆積機構を提唱した。レーザ誘起帯電が堆積の原因であると推測した。レーザ誘起印刷プロセスは電気バイアスにより支援できる。作製した最小の構造は約500nmで,回折限界レーザスポットサイズ(約2.6μm)よりも大幅に小さかった。この新しい方式は新しいマイクロ/ナノ付加製造手法として,レーザ選択性電気泳動堆積に道を開く。
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分類 (1件):
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レーザの応用 
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