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J-GLOBAL ID:201702241062270726   整理番号:17A1489415

リード線のないペースメーカを駆動する衝撃誘起窒化アルミニウムをベースとするMEMSエネルギーハーベスタ【Powered by NICT】

Shock-induced aluminum nitride based MEMS energy harvester to power a leadless pacemaker
著者 (5件):
資料名:
巻: 264  ページ: 212-218  発行年: 2017年 
JST資料番号: B0345C  ISSN: 0924-4247  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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ペースメーカーの寿命を増加させるために移植可能なリードレスペースメーカの次世代は振動エネルギーハーベスタを必要とするであろう。本論文では,ペースメーカーカプセル内の適合する圧電MEMS線形エネルギーハーベスタ装置の使用を初めて報告した。シリコンベースMEMSカンチレバー素子は圧電層としてCMOS互換窒化アルミニウムを用いた。開発したハーベスタは,心臓の低周波数(60 240拍/分)高加速(>1g)振動から発生する衝撃誘起振動に基づいて動作する。非共鳴,高g衝撃は高周波ハーベスタは,その共振周波数で振動する。パワー密度97と454μWcm~ 3g~ 2はそれぞれ60および240拍/分の心拍数で達成された。強制振動は,典型的な正弦波励起と比較して,平均電力を低減する100~200ms後減衰させる線形ハーベスタを引き起こす。60bpmと1gの加速度の心拍数でそれぞれ2.98および5.96μWを得ながら二と四片持梁システムは,カプセルの全体積の35%と70%を占めている。本論文の結果は,衝撃波誘起線形MEMSハーベスタは,小体積を維持しながらリードレスペースメーカーを駆動する心臓の振動から十分な電気エネルギーを生産できることを実証した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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