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J-GLOBAL ID:201702241085948756   整理番号:17A1501771

ZnO薄膜の表面特性と陰極線ルミネセンス劣化【Powered by NICT】

Surface characterization and cathodoluminescence degradation of ZnO thin films
著者 (6件):
資料名:
巻: 424  号: P3  ページ: 412-420  発行年: 2017年 
JST資料番号: B0707B  ISSN: 0169-4332  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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ZnO薄膜をスピンコーティング法を用いてゾル-ゲル法により合成することに成功した。膜は空気中で600°Cでアニールした二時間Ar/H_2(5%)流30及び60分間であった。構造解析,表面形態と特性化,ならびに光学分析(光ルミネセンスと陰極線ルミネセンス(CL))を試料について行った,詳細に議論した。膜に及ぼす長期電子照射中のCL劣化も測定した。表面に垂直なc軸の優先配向は両空気中とH_2流中で焼なました膜の(002)面からのピークを示すX線回折データから観察された。空気中でアニールした膜は広い可視発光だけでなく,強い紫外発光を示した。511nm付近に単一緑色発光ピークを60分間Ar/H_2流中でアニールした膜から得られた。CL研究は,緑色発光(511nm)の強度は電子線量160C/cm~2以上の電子衝撃中の非常に安定であることを明らかにした。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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酸化物薄膜 
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