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J-GLOBAL ID：201702241283877154   整理番号：17A1589575

SiO2マイクロディスクの湿式腐食プロセスの研究【JST・京大機械翻訳】

Research on Silica Microdisk by Wet-etching

著者 (7件)： Yang Wen (厦門大学信息科学与技術学院,福建厦門,361005) ,  Long Hao (厦門大学信息科学与技術学院,福建厦門,361005) ,  Guo Zhanglei (厦門大学信息科学与技術学院,福建厦門,361005) ,  Jiang Shuisen (厦門大学信息科学与技術学院,福建厦門,361005) ,  Zhang Baoping (厦門大学信息科学与技術学院,福建厦門,361005) ,  Cai Zhiping (厦門大学信息科学与技術学院,福建厦門,361005) ,  Ying Leiying (厦門大学信息科学与技術学院,福建厦門,361005)
資料名： Xiamen Daxue Xuebao. Ziran Kexue Ban  (Xiamen Daxue Xuebao. Ziran Kexue Ban)
巻： 56  号： 3  ページ： 410-415  発行年： 2017年 
JST資料番号： W1452A  ISSN： 0438-0479  CODEN： HMHHAF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： SiO2バックリングモード(WGM)の光学共振器は,Q値が高く,モード体積が小さく,製作が簡単であるという利点がある。. . WGMの光学共振器には,多くの利点がある。それは,量子電気力学,バイオセンサ,フィルタ,非線形光学などの分野において,非常に有望な応用展望を有する。熱酸化成長SiO2,フォトリソグラフィー,マグネトロンスパッタリングにより成長させたCrマスク,HF緩衝液によるSiO2,KOH溶液の湿式エッチングによるSiの除去,Crの除去などのプロセスにより,異なるサイズのSiO2マイクロディスクを得た。40と60μm。原子間力顕微鏡を用いて,マイクロディスクの表面粗さを特性化し,平方根の表面粗さは0.469nmであった。任意の表面処理またはレーザー処理を行わない場合に、連続波長可変レーザーを利用し、光ファイバテーパとマイクロディスクを結合することにより、透過スペクトル測定により、マイクロディスクの自由スペクトル範囲(free spectrum range,FSR)はλFSR=9.6 nmとなる。Q値は約1×104であった。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 光共振器 ,  *ケイ素 ,  マグネトロンスパッタリング ,  Q値 ,  原子間力顕微鏡 ,  非線形光学 ,  可変波長レーザ ,  クロム ,  スペクトル ,  熱酸化 ,  光ファイバ ,  バイオセンサ ,  フォトリソグラフィー
準シソーラス用語： 透過スペクトル ,  *マイクロディスク , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： whispering gallery ,  KOH ,  microdisk ,  FSR ,  Q factor

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： SiO2 ,  マイクロディスク ,  腐食 ,  プロセス ,  研究