文献

J-GLOBAL ID：201702241515832672   整理番号：17A1040556

実用極限センシングに向けたグラフェンメカニカル素子の室温高感度化

High Sensitive Graphene Mechanical Structure Fabrication for Sensing at the Room Temperature

著者 (1件)： 米谷玲皇 (東大 大学院工学系研究科)
資料名： 日本板硝子材料工学助成会成果報告書(CD-ROM)  (Nippon Sheet Glass Foundation for Materials Science and Engineering Report (CD-ROM))
巻： 35  ページ： 145-149  発行年： 2017年 
JST資料番号： X0948B  ISSN： 1883-3128  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,室温高感度センシングのための高Q値グラフェンメカニカル構造体作製にむけた共通性の高い知見の獲得を目的として,集束イオンビーム加工及びアニール処理がグラフェンメカニカル構造体の微細構造特性と振動特性に及ぼす影響を評価した。結果として,集束イオンビーム加工は数10μm以上の広い範囲にわたりグラフェンの結晶性に影響を及ぼすことがわかった。また,アニール処理のグラフェンの結晶性改善に対する効果を確認した。これに加えて,集束イオンビーム加工は,グラフェンメカニカル構造体への欠陥生成やGa混入を引き起こすものの,機械振動のQ値を増加させることを見出した。集束イオンビーム加工は,室温高感度センシングを実現する高Q値グラフェンメカニカル振動子作製のための強力なツールになることが期待される。(著者抄録)

シソーラス用語： *振動子 ,  Q値 ,  焼なまし ,  *グラフェン ,  結晶度 ,  微細構造 ,  室温 ,  機械振動 ,  *高感度 ,  集束イオンビーム ,  化学蒸着 ,  アルコール ,  Raman分光分析 ,  *MEMS
準シソーラス用語： *ナノ振動子 ,  アニール処理 ,  単層グラフェン ,  CVD【化学蒸着】 ,  振動特性 ,  *NEMSデバイス

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の物理実験技術  (BA02080Z)

引用文献 (10件)：

• H. J. Mamin and D. Rugar, Appl. Phys. Lett. 79, 3358(2001).
• T. Ono and M. Esashi, Rev. Sci. Instrum. 74, 5141(2003).
• A. N. Cleland and M. L. Roukes, Nature 392, 160(1997).
• M. Varshney, P. S. Waggoner, C. P. Tan, K. Aubin, R. A. Montagna and H. G. Craighead, Anal. Chem. 80, 2141(2008).
• K. L. Ekinci, X. M. H. Huang and M. L. Roukes, Appl. Phys. Lett. 84, 4469(2004).

タイトルに関連する用語 (4件)： 極限 ,  センシング ,  室温 ,  高感度化