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J-GLOBAL ID:201702241523905426   整理番号:17A1449668

大気圧低温プラズマにより作製したAZO/ZnO膜に対する核生成時スイープ速度の影響

著者 (3件):
資料名:
巻: 2017  ページ: ROMBUNNO.11-15  発行年: 2017年09月16日 
JST資料番号: L1738B  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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シソーラス用語/準シソーラス用語
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分類 (2件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
酸化物薄膜  ,  薄膜成長技術・装置 

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