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J-GLOBAL ID:201702241560284037   整理番号:17A1732033

AlN S1Lambモード共振器を用いた3.5GHzハイブリッド広帯域RFフィルタ【Powered by NICT】

A 3.5 GHz hybrid wideband RF filter using AlN S1 lamb mode resonator
著者 (3件):
資料名:
巻: 2017  号: IUS  ページ:発行年: 2017年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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LTEバンド42とバンド43などの高周波帯域が3GHzより高い周波数で動作する共振器とフィルタを必要とする。しかし,既存のニオブ酸リチウム基本対称(S0)ラムモード共振器と弾性表面波(SAW)共振器は,それらの低い位相速度による動作周波数限界(<2 GHz)を有していた。高周波AlN薄膜バルク音響共振器(FBAR)を,薄いAlN膜で劣化した結晶化と電力処理問題に悩まされている。高周波AlN S0ラムモード共振器は,狭いピッチのためにリソグラフィーと電力操作課題に遭遇する。AlN中の一次対称(S1)Lambモードは,非常に高い位相速度を示し,建築高周波共振器とフィルタに有望である。本研究を徹底的にS1Lambモード共振器を検討し,ハイブリッドトポロジーを有する高周波RFフィルタへの応用を拡張した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (1件):
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弾性表面波デバイス 
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