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J-GLOBAL ID：201702241847379197   整理番号：17A1634885

原子間力顕微鏡X-Yステージの予測制御をモデル化するための高速勾配法の適用【Powered by NICT】

An application of the fast gradient method to model predictive control of an atomic force microscope X-Y stage

著者 (2件)： Braker Roger A. (Dept. of Electrical, Computer, and Energy Engineering at the University of Colorado, Boulder, CO 80309) ,  Pao Lucy Y. (Dept. of Electrical, Computer, and Energy Engineering at the University of Colorado, Boulder, CO 80309)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： CCTA  ページ： 111-116  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 原子間力顕微鏡におけるランダムサブサンプリングイメージング法は,ステップ入力の配列を追跡するために圧電X-Yステージを必要とする。線形フィードバック法と組み合わせた制御スルーレート限界はこのシナリオで達成可能な性能を制限することが示されている。作動制約を考慮するためにその自然な能力のために,モデル予測制御の適用を考察した。増分形式で問題を改変することにより,発生した二次計画法を効率的に解くことができる形をとる。より詳しくいえば,ここでは,五十の状態と入力制約付きモデル予測制御問題,12試料の制御層と高速勾配法を用いた25kHzの試料周波数を解いた。ナノ位置決めステージに適用される方法を用いた実験結果を示した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *予測制御 ,  *高速度 ,  *原子間力顕微鏡 ,  圧電気 ,  *モデリング ,  周波数 ,  *傾斜法 ,  二次計画法
準シソーラス用語： ナノポジショニング ,  入力制約 ,  モデル予測制御 ,  スルーレート , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 顕微鏡法  (BK01040E) ,  光学顕微鏡,望遠鏡  (QF05050R) ,  圧電デバイス  (NC03110I)

タイトルに関連する用語 (5件)： 原子間力顕微鏡 ,  X-Yステージ ,  予測制御 ,  モデル化 ,  勾配法