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J-GLOBAL ID：201702241904003661   整理番号：17A0969242

形状を制御したタングステンナノ粒子とマグネトロンスパッタリングとガス凝集により得られた結晶化度【Powered by NICT】

Tungsten nanoparticles with controlled shape and crystallinity obtained by magnetron sputtering and gas aggregation

著者 (7件)： Acsente T. (National Institute for Laser, Plasma and Radiation Physics, RO 077125 Magurele, Romania) ,  Negrea R.F. (National Institute of Materials Physics, RO 077125 Magurele, Romania) ,  Nistor L.C. (National Institute of Materials Physics, RO 077125 Magurele, Romania) ,  Matei E. (National Institute of Materials Physics, RO 077125 Magurele, Romania) ,  Grisolia C. (CEA, IRFM, 13108 Saint Paul lez Durance, France) ,  Birjega R. (National Institute for Laser, Plasma and Radiation Physics, RO 077125 Magurele, Romania) ,  Dinescu G. (National Institute for Laser, Plasma and Radiation Physics, RO 077125 Magurele, Romania)
資料名： Materials Letters  (Materials Letters)
巻： 200  ページ： 121-124  発行年： 2017年 
JST資料番号： E0935A  ISSN： 0167-577X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： は二つの異なる形状,凹面六脚とファセット立方体から八面体ナノ結晶とタングステンナノ粒子の合成を報告した。これらのタイプのナノ粒子をマグネトロンスパッタリングとガス凝集に基づくクラスタ源を用いて得られた,連続またはパルス波ラジオ周波数パワーをもつマグネトロン放電を供給した。詳細な形態学的および微細構造の研究を行った。6脚粒子は樹枝状成長を示したが,ファセット化したものは単結晶構造を持っていた。α-Wおよびβ-W結晶相が両タイプのナノ粒子に存在するそれにもかかわらず,β-W構造は六脚では支配的であった。β-W相は通常は準安定であるが,六脚ナノ粒子の予想外の長期保存を観察した。,以前に報告されたナノフラワー様粒子に加えて,結果は,マグネトロンスパッタリングガス凝集法を用いたタングステンナノ粒子の形状と構造を制御する能力を指摘した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： ナノ結晶 ,  *マグネトロンスパッタリング ,  ファセット ,  *形態 ,  単結晶 ,  クラスタ ,  *凝集 ,  モルフォロジー ,  *タングステン ,  パルス波 ,  *結晶度 ,  微細構造 ,  *ナノ粒子
準シソーラス用語： ナノフラワー ,  結晶相 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： Nanoparticles ,  粒子形状 ,  タングステン ,  ガス凝集 ,  マグネトロンスパッタリング

分類 (1件)： 塩基,金属酸化物  (CD01030Z)

タイトルに関連する用語 (5件)： タングステン ,  ナノ粒子 ,  マグネトロンスパッタリング ,  凝集 ,  結晶化度