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J-GLOBAL ID：201702242117122914   整理番号：17A0663691

ナノコンポジット炭化物被覆上の不動態皮膜と電気接点への応用

Passive films on nanocomposite carbide coatings for electrical contact applications

著者 (5件)： NYGREN Kristian (Uppsala Univ., Uppsala, SWE) ,  NYGREN Kristian (Impact Coatings AB, Linkoeping, SWE) ,  ANDERSSON Anna Mikaela (ABB Corporate Res., Vaesteras, SWE) ,  EKLUND Per (Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE) ,  JANSSON Ulf (Uppsala Univ., Uppsala, SWE)
資料名： Journal of Materials Science  (Journal of Materials Science)
巻： 52  号： 13  ページ： 8231-8246  発行年： 2017年07月 
JST資料番号： B0722A  ISSN： 0022-2461  CODEN： JMTSAS  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノ結晶質炭化ニオブ/水素化非晶質炭素(NbC_x/a-C_y:H)ナノコンポジット被覆を高速反応性マグネトロンスパッタリングによって成膜して,微細構造,表面化学,低荷重での電気接点抵抗を調べた。ナノコンポジット上の酸化物平均厚みは1nmであった。空気中で260°Cまで焼鈍すると酸化物厚みは8nmまで増加した。酸化によってNbC_x粒はCを周囲に放出するので表面層はCとNb₂O₅が多くなる。深部組成は変わらない。接触抵抗は酸化物の平均厚みに指数関数的に依存して4桁も変わった。さらに,a-C:H相において接触抵抗は急激に低下した。ナノコンポジットの接触抵抗の最低値は金の接触抵抗と同程度であった。表面化学に依存する電気接点モデルを提出した。

シソーラス用語： ニオブ化合物 ,  *炭化物 ,  *炭素材 ,  水素化 ,  ナノ構造 ,  *複合膜 ,  マグネトロンスパッタリング ,  反応性スパッタリング ,  蒸着膜 ,  接触抵抗 ,  *接点材料 ,  不動態皮膜 ,  ナノ複合材料 ,  非晶質
準シソーラス用語： ナノコンポジット膜 ,  炭化ニオブ ,  非晶質炭素

分類 (1件)： 電気接点  (NA05070V)

タイトルに関連する用語 (5件)： ナノコンポジット ,  炭化物 ,  不動態皮膜 ,  電気接点 ,  応用