Massimino G. について
Department of Civil and Environmental Engineering, Politecnico di Milano, Piazza Leonardo da Vinci 32, 20133 Milan, Italy について
D’Alessandro L. について
Department of Civil and Environmental Engineering, Politecnico di Milano, Piazza Leonardo da Vinci 32, 20133 Milan, Italy について
Procopio F. について
Analog, MEMS & Sensors Group, ST Microelectronics, Via Olivetti 2, 20100 Agrate Brianza, Italy について
Ardito R. について
Department of Civil and Environmental Engineering, Politecnico di Milano, Piazza Leonardo da Vinci 32, 20133 Milan, Italy について
Ferrera M. について
Analog, MEMS & Sensors Group, ST Microelectronics, Via Olivetti 2, 20100 Agrate Brianza, Italy について
Corigliano A. について
Department of Civil and Environmental Engineering, Politecnico di Milano, Piazza Leonardo da Vinci 32, 20133 Milan, Italy について
IEEE Conference Proceedings について
固体デバイス製造技術一般 について
PZT について
活性層 について
残留応力 について
実験 について
検証 について