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J-GLOBAL ID：201702242241850625   整理番号：17A1245621

灰長石様ガラス状薄膜の動力学とポテンシャルスパッタリング【Powered by NICT】

Kinetic and potential sputtering of an anorthite-like glassy thin film

著者 (5件)： Hijazi H. (Physics Division, Oak Ridge National Laboratory, Oak Ridge, Tennessee, USA) ,  Bannister M. E. (Physics Division, Oak Ridge National Laboratory, Oak Ridge, Tennessee, USA) ,  Meyer H. M. III (Materials Science and Technology Division, Oak Ridge National Laboratory, Oak Ridge, Tennessee, USA) ,  Rouleau C. M. (Center for Nanophase Materials Sciences, Oak Ridge National Laboratory, Oak Ridge, Tennessee, USA) ,  Meyer F. W. (Physics Division, Oak Ridge National Laboratory, Oak Ridge, Tennessee, USA)
資料名： Journal of Geophysical Research: Planets  (Journal of Geophysical Research: Planets)
巻： 122  号： 7  ページ： 1597-1609  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2387A  ISSN： 2169-9097  CODEN： JGREA2  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,固定太陽風関連衝撃エネルギー~0.5keV/amuでの灰長石のような薄膜のHe~+とHe~イオン誘起スパッタリングの測定水晶微量天秤法(QCM)を用いて全絶対スパッタリング収率の決定を示した。~~+2イオンは太陽風中の最も豊富な多価イオンであり,等流速He~+イオンと比較してこれらのイオンによるスパッタリングの増加は月面上の太陽風影響の総合的スパッタリング効率に最大の影響を持つことが期待される。筆者らの測定は,同じ速度He~+衝撃(14.6amu/He~+のHe~対8.7amu/イオンのイオン)のそれと比較して二重荷電入射Heイオンのスパッタ収率のほぼ70%の増加を示した。選択的スパッタリングモデルを用いて,新しいQCM結果は,以前に公表された結果Ar~+qイオンとSRIM結果関連速度論的スパッタリング収率と共に,月の灰長石のような土壌の局所表面近傍改質に及ぼす多価太陽風イオン衝撃による効果を検討したここで提示した。多価太陽風成分は劣化ウランと濃縮表面要素のより顕著な有意な分化だけでなく,そのような表面組成変化は天体物理学環境で起こる可能性時間スケールの短縮をもたらすことを示した。添加では,QCM法が使用できない場合の多価イオン誘導スパッタリング増強の過去と将来の測定を確証するために,相対的四重極質量分析(QMS)をベースにした測定は,QCMによって調べた同じ灰長石のような薄膜に対して提示した,電荷状態増強収率測定のためのそれらの適合性と限界を論じた。Copyright 2017 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： イオン ,  太陽風 ,  速度論 ,  *灰長石 ,  宇宙物理学 ,  衝突エネルギー ,  イオン衝突 ,  多価イオン ,  *ガラス ,  衝撃 ,  *スパッタリング ,  *薄膜 ,  四重極質量分析 ,  電荷
準シソーラス用語： スパッタリング収率 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 月 ,  スパッタリング ,  灰長石 ,  太陽風

分類 (1件)： スパッタリング  (BK16110U)

タイトルに関連する用語 (5件)： 灰長石 ,  薄膜 ,  動力学 ,  ポテンシャル ,  スパッタリング