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J-GLOBAL ID：201702242311224213   整理番号：17A0550337

フレキシブル基板上に形成した薄膜のX線反射率測定のための簡便かつ再現性の高い試料固定法

著者 (5件)： 徳永幸大 (東レ フィルム研) ,  上林浩行 (東レ フィルム研) ,  田尻恭之 (福岡大 理) ,  佐藤誠 (東レ フィルム研) ,  香野淳 (福岡大 理)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 64th  ページ： ROMBUNNO.16p-512-3  発行年： 2017年03月01日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *薄膜 ,  *フレキシブル基板 ,  *計測 ,  *プラスチックフィルム ,  *固定 ,  *精度 ,  *再現性 ,  二酸化ケイ素 ,  *方式
準シソーラス用語： *X線反射率測定 ,  *試料固定 ,  *帯電法

分類 (3件)： 試料技術  (BA02070O) ,  固体デバイス材料  (NC03020K) ,  薄膜一般  (BK14010X)

タイトルに関連する用語 (5件)： フレキシブル基板 ,  薄膜 ,  X線反射率測定 ,  再現性 ,  試料