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J-GLOBAL ID：201702242561746348   整理番号：17A1375384

フッ素レーザーを用いた耐食性純鉄薄膜の形成における基板依存性

Substrate Dependence on Formation of Corrosion Resistant Pure Iron Thin Films Using Fluorine Laser

著者 (1件)： 大越昌幸 (防衛大学校 電気情報学群)
資料名： レーザー研究  (レーザー学会誌)
巻： 45  号： 10  ページ： 652-657  発行年： 2017年10月20日 
JST資料番号： X0335A  ISSN： 0387-0200  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 耐食性の純鉄薄膜を形成するために,フッ素レーザーを用いた方法について検討した。Si基板やガラス基板を利用して,純鉄薄膜の形成における基板の影響を調べた。Fe板(純度4N)を蒸着源とした電子ビーム蒸着法により,膜厚50nmの鉄の金属薄膜を形成した。X線光電子分光法でレーザー照射された試料を分析した。波長157nmのフッ素レーザーによる鉄の金属薄膜の光化学的表面改質において,Si基板をガラス基板に代え,単一パルスのフルエンスを20mJ/cm²とすることより,膜厚50nmの鉄薄膜表面に約8nm厚の酸化改質層が形成されることが分かった。鉄薄膜表面に形成される酸化改質層の膜厚の増加により,疑似海水中での耐食性が著しく向上することが分かった。

シソーラス用語： *気体レーザ ,  *フッ素 ,  純鉄 ,  *金属薄膜 ,  耐食性 ,  基板 ,  X線光電子分光法 ,  電子ビーム蒸着 ,  レーザ照射 ,  *表面改質 ,  ウエハ【IC】 ,  光化学 ,  酸化鉄
準シソーラス用語： Si基板 ,  ガラス基板 ,  *フッ素レーザ ,  *レーザ表面改質

分類 (2件)： レーザの応用  (BD04100V) ,  金属薄膜  (BK14030T)

引用文献 (23件)：

• T. E. Graedel and R. P. Frankenthal: J. Electrochem. Soc. 137 (1990) 2385.
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• P. B. Lindsay: Mater. Perform. 25 (1986) 23.
• R. S. Rawat, T. Zhang, K. S. T. Gan, P. Lee, and R. V. Ramanujan: Appl. Surf. Sci. 253 (2006) 1611.
• C. S. Kuroda, M. Maeda, H. Nishibiraki, N. Matsushita, H. Handa, and M. Abe: Dig. IEEE Int. Magnetic Conf. (2005) 457.

タイトルに関連する用語 (5件)： フッ素レーザー ,  耐食性 ,  純鉄 ,  薄膜 ,  依存性