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J-GLOBAL ID：201702242705670629   整理番号：17A1999852

電子ビーム蒸着により堆積したWドープ二酸化バナジウム薄膜のサーモクロミック特性に及ぼすアニーリングの影響【Powered by NICT】

Effects of annealing on thermochromic properties of W-doped vanadium dioxide thin films deposited by electron beam evaporation

著者 (6件)： Chen Shao-En (Department of Materials Science and Engineering, National Cheng Kung University, Tainan 70101, Taiwan) ,  Lu Horng-Hwa (Department of Mechanical Engineering, National Chin-Yi University of Technology, Taichung 41170, Taiwan) ,  Brahma Sanjaya (Department of Materials Science and Engineering, National Cheng Kung University, Tainan 70101, Taiwan) ,  Huang Jow-Lay (Department of Materials Science and Engineering, National Cheng Kung University, Tainan 70101, Taiwan) ,  Huang Jow-Lay (Center for Micro/Nano Science and Technology, National Cheng Kung University, Tainan 70101, Taiwan) ,  Huang Jow-Lay (Research Center for Energy Technology and Strategy, National Cheng Kung University, Tainan 70101, Taiwan)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 644  ページ： 52-56  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： サーモクロミック二酸化バナジウム(VO_2)は,電気的および光学的特性の劇的な変化,スマート窓への応用のための魅力的な候補にすると約68°Cの臨界温度(T_t)で完全に可逆的な半導体-金属転移(SMT)を受ける。切り替え可能なVO_2およびWドープ二酸化バナジウム(W_xV_1 xO_2)薄膜を室温(RT)とそれに続く種々の温度でのポストアニーリング過程で標的としてVO_2/W_xV_1 xO_2を用いた電子ビーム蒸着法により石英基板上に成長させた。蒸着したままの膜は非晶質であり,それは真空下で500°Cでのアニーリング後(011)優先配向した単斜晶VO_2(VO_2(M))に変換した。W VO_2膜の(011)ピークはVO_2格子へのWイオンの取込を確認するアンドープVO_2膜と比較してより低い回折角側にシフトした。温度依存光透過率測定は,WドープVO_2膜で観察された相転移温度(T_t)の減少と,サーモクロミック特性はドーピングによるVO_2における電子構造の変化に起因することを示した。膜をX線回折(XRD),走査電子顕微鏡(SEM),X線光電子分光法(XPS),および光透過率測定によって特性化した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 光学的性質 ,  *薄膜 ,  *酸化バナジウム ,  *焼なまし ,  転移温度 ,  優先配向 ,  *電子ビーム蒸着 ,  単斜晶系 ,  X線光電子分光法 ,  *ドーピング ,  金属-半導体転移 ,  X線回折 ,  温度依存性
準シソーラス用語： 光透過率 ,  *二酸化バナジウム , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (7件)： 二酸化バナジウム ,  タングステン添加酸化バナジウム ,  VO_2 ,  W_xV_1 xO_2 ,  薄膜 ,  アニーリング ,  ドーピング

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  その他の光学的効果  (BM08040H)

タイトルに関連する用語 (6件)： 電子ビーム蒸着 ,  堆積 ,  ドープ ,  酸化バナジウム ,  薄膜 ,  アニーリング