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J-GLOBAL ID：201702242807618574   整理番号：17A1190223

空気雰囲気中での超音波噴霧熱分解による完全溶液処理酸化亜鉛MISキャパシタ【Powered by NICT】

Fully solution-processed zinc oxide MIS capacitors by ultrasonic spray pyrolysis in air ambient

著者 (2件)： Dominguez Miguel A. (Centro de Investigaciones en Dispositivos Semiconductores, Instituto de Ciencias, Benemerita Universidad Autonoma de Puebla (BUAP), Puebla 72570, Mexico) ,  Orduna-Diaz Abdu (Centro de Investigacion en Biotecnologia Aplicada (CIBA), Instituto Politecnico Nacional, Tlaxcala, Tlaxcala 72197, Mexico)
資料名： Journal of Applied Research and Technology  (Journal of Applied Research and Technology)
巻： 15  号： 3  ページ： 278-282  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2863A  ISSN： 1665-6423  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： メキシコ (MEX)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,超音波噴霧熱分解(USP)により完全に溶液処理酸化亜鉛金属-絶縁体-半導体(MIS)キャパシタの作製と特性評価を報告した。USPによるフッ素酸化スズ透明電極として用いたが,スピンコーティングによりスピンオンガラス誘電体として使用し,USPによる酸化亜鉛を活性層として用いた。,酸化亜鉛膜を光ルミネセンス分光法,X線回折およびフーリエ変換赤外分光法を用いて特性化した。MISキャパシタをガラススライド上に作製し,可視範囲,透明エレクトロニクス可能でそれらを利用したにおいて高度に透明であった。容量-電圧および電流-電圧測定を用いて,MISキャパシタを特性化した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 酸化スズ ,  *コンデンサ ,  *超音波 ,  透明電極 ,  活性層 ,  電圧 ,  スピンコーティング ,  光ルミネセンス ,  フッ素 ,  *酸化亜鉛 ,  誘電体 ,  X線回折
準シソーラス用語： *MISコンデンサ ,  *溶液処理 ,  *噴霧熱分解法 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： MISキャパシタ ,  溶液過程 ,  透明エレクトロニクス

分類 (2件)： セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V) ,  塩基,金属酸化物  (CD01030Z)

タイトルに関連する用語 (5件)： 空気雰囲気 ,  超音波噴霧 ,  熱分解 ,  酸化亜鉛 ,  MISキャパシタ