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J-GLOBAL ID：201702242854572070   整理番号：17A1482952

ポリカーボネートガラスのための有機けい素源からのオキシ炭化けい素薄膜の蒸着【Powered by NICT】

Deposition of silicon oxycarbide thin films from an organosilicon source for polycarbonate glazing

著者 (2件)： Lee Sung-Eun (Computer Science and Electrical Engineering, Handong Global University, Pohang 791-708, Republic of Korea) ,  Park Young-Chun (Computer Science and Electrical Engineering, Handong Global University, Pohang 791-708, Republic of Korea)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 638  ページ： 354-360  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ガラスを置き換えるために使用ポリカーボネートの耐摩耗性を向上させるために,スロットアンテナ電子サイクロトロン共鳴プラズマ増強化学蒸着システムと有機けい素源を用いた<100°Cで堆積したシリコンオキシカーバイド薄膜。薄膜蒸着速度であり,それはマイクロ波電力の関数として変化し,ArまたはO_2はプラズマを形成したかどうかを,2Paでも500nm/min以上であり,マイクロ波電力が増加するにつれて1μm/minに達した。可視光の透過率は薄膜堆積後90%以上であり,ガラスのそれと類似の性能を示した。Taber摩耗試験機によると薄膜のΔhazesは5%,シロキサン系湿式被覆試料(Momentive,AS4700)と市販の硬質プラズマ被覆製品LEXAN MR10よりも優れた性能を示した下にあることを示した。さらに,1.7kWで堆積された薄膜は,ガラスのそれに類似した耐摩耗性を示した。さらに,連続,微小長さ1.7kW ArとO_2プラズマ表面処理は,析出前に実施したとき接着は有意に改善した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *蒸着 ,  アルゴン ,  摩耗試験 ,  *ガラス ,  硬質 ,  プラズマ ,  プラズマCVD ,  *炭化ケイ素 ,  試験装置 ,  *ポリカーボネート ,  シロキサン ,  耐摩耗性 ,  透過率 ,  *薄膜
準シソーラス用語： マイクロ波電力 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： ポリカーボネート ,  くすりがけ ,  スロットアンテナ電子サイクロトロン共鳴 ,  プラズマ増強化学蒸着 ,  オクタメチルシクロテトラシロキサン ,  オキシ炭化けい素

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： ポリカーボネート ,  ガラス ,  けい素 ,  オキシ炭化けい素 ,  薄膜 ,  蒸着