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J-GLOBAL ID：201702242918931168   整理番号：17A1029135

共振MEMS加速度計における非線形周波数雑音変調【Powered by NICT】

Non-Linear Frequency Noise Modulation in a Resonant MEMS Accelerometer

著者 (2件)： Zou Xudong (Nanoscience Centre, University of Cambridge, Cambridge, U.K.) ,  Seshia Ashwin A. (Nanoscience Centre, University of Cambridge, Cambridge, U.K.)
資料名： IEEE Sensors Journal  (IEEE Sensors Journal)
巻： 17  号： 13  ページ： 4122-4127  発行年： 2017年 
JST資料番号： W1318A  ISSN： 1530-437X  CODEN： ISJEAZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 共鳴MEMS加速度計は大きな入力ダイナミックレンジにわたる非常に高い分解能と広い帯域幅測定のための可能性を提供する。読み出しが一次周波数決定素子としての共振器と発振器を構築することにより実現した。この発振器フロントエンドの雑音は,典型的には,デバイスの分解能を決定し,ノイズフロアはシステムダイナミックスによる手術雑音過程の変調によって設定される。共振器要素は典型的には線形領域で動作する雑音変換制限周波数安定性に対する共振器非線形性の有害な影響を防ぐことである。しかし,高い駆動パワーレベルで動作することにより,また,十分に大きな入力周波数の信号対雑音比を高めることが可能である。本論文では,広い帯域幅にわたって改善されたデバイス性能は,最適共振器にバイアスをかけ,電気的に調整可能な分解能を持つ両短期および長期測定を可能にする適切な振幅と位相フィードバック方式を利用することにより可能であることを示した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 共振器 ,  *線形性 ,  帯域幅 ,  *共振 ,  SN比 ,  発振器 ,  周波数安定度 ,  *MEMS ,  *雑音 ,  ダイナミックレンジ ,  非線形性 ,  *周波数 ,  *加速度計 ,  システムダイナミックス ,  分解能

分類 (5件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  分析機器  (CC02020S) ,  弾性表面波デバイス  (NC03120T) ,  発振回路  (NC05020Y) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 共振 ,  MEMS ,  加速度計 ,  非線形 ,  周波数雑音 ,  変調