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J-GLOBAL ID:201702243005004422   整理番号:17A1123680

結晶シリコンインゴットの産業用方向性凝固炉における結合した酸素と炭素輸送の全球シミュレーション:るつぼ被覆被覆の影響【Powered by NICT】

Global simulation of coupled oxygen and carbon transport in an industrial directional solidification furnace for crystalline silicon ingots: Effect of crucible cover coating
著者 (5件):
資料名:
巻: 108  号: PB  ページ: 2355-2364  発行年: 2017年 
JST資料番号: C0390A  ISSN: 0017-9310  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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工業用方向性凝固(DS)炉で成長させた結晶性シリコンインゴット中の酸素(O)と炭素(C)分布の正確な予測に対して,筆者らは最初に温度場と流れ場の完全に結合した計算に基づく熱伝達の過渡的全体的シミュレーションを行った。相変化問題固定格子手法に基づいたエンタルピ定式化法により取り扱った。DS炉に結合したCとO輸送を行い,五種の化学反応を考慮した。全凝固プロセス中のOおよびC不純物偏析をモデル化した。開発されたモデルは成長界面での不純物偏析をシミュレートでき,得られた境界層厚さは解析的計算により推定したものと類似していた。結合OおよびC輸送に及ぼするつぼカバー被覆の影響を調べた。数値結果は,純粋な黒鉛被覆は不活性材料被覆した黒鉛被覆によって取って代わられた場合成長シリコンインゴット中のC濃度は約60%減少できることを示した。しかし,被覆被覆は,成長したインゴットにおけるO濃度に影響しなかった。C濃度の数値予測は実験測定と満足できる一致を示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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分類 (1件):
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相変化を伴う熱伝達 

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