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J-GLOBAL ID：201702243009264368   整理番号：17A1028955

マイクロ/ナノ加工のための新しい圧電駆動回転空間振動システムの設計,解析と実現【Powered by NICT】

Design, Analysis, and Realization of a Novel Piezoelectrically Actuated Rotary Spatial Vibration System for Micro-/Nanomachining

著者 (4件)： Zhu Zhiwei (School of Mechanical Engineering, Nanjing University of Science and Technology, Nanjing, China) ,  To Suet (State Key Laboratory of Ultra-precision Machining Technology, Department of Industrial and Systems Engineering,, Hong Kong Polytechnic University, Kowloon, Hong Kong) ,  Ehmann Kornel F. (Department of Mechanical Engineering, Northwestern University, Evanston, IL, USA) ,  Zhou Xiaoqin (School of Mechanical Science and Engineering, Jilin University, Changchun, China)
資料名： IEEE/ASME Transactions on Mechatronics  (IEEE/ASME Transactions on Mechatronics)
巻： 22  号： 3  ページ： 1227-1237  発行年： 2017年 
JST資料番号： W0894A  ISSN： 1083-4435  CODEN： IATEFW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 新しく提案された回転空間振動(RSV)支援ダイヤモンド切削システムでは,高い動作帯域幅をもつ三つの分離並進振動を発生し,圧電駆動モノリシックコンプライアント空間振動子(CSV)は,機械の回転スピンドルで動作するように設計された意図的にである。行列に基づいたコンプライアンスモデリング法とLagrange原理を用いて,CSVの完全なコンプライアンスとシステムダイナミックスモデルを定式化した。解析モデリングの結果は,有限要素解析で得られた結果と比較して検証した。オフライン実験試験は,実際のストローク,寄生運動だけでなく,三方向に沿ってCSVの固有振動数を調べた。複雑な多層マイクロ/ナノ構造の生成のために開発されたRSV支援ダイヤモンド切削システムの予備性能評価は機械的ミクロ/ナノ加工のためのRSVシステムの実現可能性と効率を実証するために実施した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： ダイヤモンド ,  振動子 ,  *ナノメータ加工 ,  性能評価 ,  切削 ,  固有振動数 ,  スピンドル ,  *振動系 ,  モデリング ,  帯域幅 ,  コンプライアンス ,  並進 ,  ナノ構造
準シソーラス用語： 有限要素解析 ,  *圧電駆動 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A) ,  ロボットの運動・制御  (IC04012J) ,  電気式制御機器  (IC02020Y)

タイトルに関連する用語 (5件)： ナノ加工 ,  圧電駆動 ,  振動システム ,  設計 ,  解析