高周波パルスグロー放電による薄膜タンデム太陽電池の特性化-時間飛行質量分析法【Powered by NICT】

Fernandez Beatriz; Lobo Lara; Reininghaus Nies; Pereiro Rosario; Sanz-Medel Alfredo

文献

J-GLOBAL ID：201702243208713246 整理番号：17A0443801

高周波パルスグロー放電による薄膜タンデム太陽電池の特性化-時間飛行質量分析法【Powered by NICT】

Characterization of thin film tandem solar cells by radiofrequency pulsed glow discharge - Time of flight mass spectrometry

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資料名：
巻： 165 ページ： 289-296 発行年： 2017年
JST資料番号： E0324A ISSN： 0039-9140 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

低生産コストと非毒性であり,豊富な原料の使用に加えて,シリコンベース薄膜太陽電池タンデムまたは三重接合太陽電池のような多重接合デバイスとして構築される利点を持っている。水素化非晶質シリコン(a Si:H)上部電池と微結晶(μc)Si:H底部セルを用いたタンデム太陽電池の作製したシリコン薄膜モジュールが市場で利用可能である。本研究では,最先端のラジオ周波数(rf)パルスグロー放電(PGD)飛行時間型質量分析(TOFMS)市販装置の分析能力を1μm厚のZnO:Alと2mm厚のガラス基板上にタンデム接合太陽電池の深さプロファイリング分析のために研究した。二薄膜タンデム光起電力デバイスの深さプロファイルの特性化はミリ秒とミリ秒以下のrf PGD領域だけでなく,使用されている市販装置に利用するいわゆる「低質量モード」を用いて比較した。試料調製のための二つの方法,すなわち平坦あるいは粗い細胞基質を用いて,比較し,ドーパント元素(りん,ほう素とゲルマニウム)の分布を両方のケースで調べた。試料のrf PGD TOFMS並びに電気測定により得られた実験結果は,粗い試料基板を用いたシリコン層(例えば試料の被覆におけるこのドーパントの拡散を示唆する厚い領域中のほう素の分布)におけるドーパント元素の深さ分解能は,より高い電力変換効率と関連していたことを示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

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分析機器

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