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J-GLOBAL ID:201702243796936582   整理番号:17A1359848

InGaAs MOSFETにおける無接合トランジスタのための記録性能【Powered by NICT】

Record performance for junctionless transistors in InGaAs MOSFETs
著者 (4件):
資料名:
巻: 2017  号: VLSI Technology  ページ: T34-T35  発行年: 2017年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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は両チャネルと接触として単層7nm厚In_0 0.80Ga_0 20As(N_D~1×10~19cm~ 3)を利用した無接合ゲートMOSFETを実証した。ソースとドレイン金属分離32nmと25nmのL_gを持つ素子は,SS=76mV/decを示し,最高値は無接合トランジスタのg_m=1.6mS/μΑとI_on=160μA/μm(V_DD=0.5V,I_OFF=100nA/μm)を報告した。も接触厚さの影響を調べ,単層7nmコンタクトデバイスを用いた37nmの厚さの接触を持つ二重層無接合デバイスを比較した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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, 【Automatic Indexing@JST】
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トランジスタ 
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