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J-GLOBAL ID:201702243803820360   整理番号:17A0697170

リチウムニオブ酸化物多機能材料の分子ビームエピタクシー【Powered by NICT】

Molecular Beam Epitaxy of lithium niobium oxide multifunctional materials
著者 (3件):
資料名:
巻: 463  ページ: 156-161  発行年: 2017年 
JST資料番号: B0942A  ISSN: 0022-0248  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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のLi Nb Oファミリーにおける材料相の優先核形成の化学量論と成長温度の役割を,経験的成長相図を調べた。単一パラメータ変化はしばしば多相膜を生成するが,以前に発表されたリチウムフラックスと基板温度制御を組合わせた限定された成長は多くの異なる酸化物相の高品質単結晶膜の再現性のある成長を可能にすることを示した。MBEで通常使用されるよりも高い温度(800 1050°C)した高品質の材料を達成する必要がある。これらの温度では表面化学種の脱着は,膜組成に重要な役割を果たすことを示した。この方法を用いたNbO,NbO_2,LiNbO_2,Li_3NbO_4,LiNbO_3,LiNb_3O_8の単相膜は,同じ成長システムで達成され,c面サファイア上の全てのされてきた。最後に,機能性酸化物ヘテロ構造におけるこれらの膜の今後について簡単に考察した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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, 【Automatic Indexing@JST】
著者キーワード (4件):
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半導体薄膜 
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