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J-GLOBAL ID：201702243957110613   整理番号：17A1344946

ミリ波応用のためのシリコンマイクロマシニング技術を用いた低サイドローブ空気充填スロットアレイ【Powered by NICT】

Low-Sidelobe Air-Filled Slot Array Fabricated Using Silicon Micromachining Technology for Millimeter-Wave Application

著者 (6件)： Chang Le (State Key Lab on Microwave and Communications, Tsinghua National Laboratory for Information Science and Technology, Tsinghua University, Beijing, China) ,  Li Yue (State Key Lab on Microwave and Communications, Tsinghua National Laboratory for Information Science and Technology, Tsinghua University, Beijing, China) ,  Zhang Zhijun (State Key Lab on Microwave and Communications, Tsinghua National Laboratory for Information Science and Technology, Tsinghua University, Beijing, China) ,  Li Xiaolin (Hebei Semiconductor Research Institute, Shijiazhuang, China) ,  Wang Shaodong (Hebei Semiconductor Research Institute, Shijiazhuang, China) ,  Feng Zhenghe (State Key Lab on Microwave and Communications, Tsinghua National Laboratory for Information Science and Technology, Tsinghua University, Beijing, China)
資料名： IEEE Transactions on Antennas and Propagation  (IEEE Transactions on Antennas and Propagation)
巻： 65  号： 8  ページ： 4067-4074  発行年： 2017年 
JST資料番号： C0218A  ISSN： 0018-926X  CODEN： IETPAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 低サイドローブ空気スロットアレイはミリ波応用のためのシリコンマイクロマシニング技術を用いて提案し,作製した。よく知られているように,高誘電率シリコンは良好な性能を持つシリコンベースアンテナを禁止している。ここでは,この問題をシリコン基板上に空気で満たされたアンテナを製造を通して検討した。八方向不等電力分配器は八空気スロットを励起するために採用し,励起係数はテーパを提示した。パワーデバイダの最後に,アンテナ性能を改善し,波の漏れを抑制するために使用されている空気充填基板集積導波路共振器と,良好なインピーダンス整合を得るために各スロット下空洞に延伸した八シリコン立方体。入力インタフェースは,アンテナとチップや集積回路の統合を必要とするパッケージ内アンテナ解を容易にする接地-信号-接地構造として選択した。三層アンテナはスルーウエハエッチング,金メッキ,光学的アラインメント,とウエハボンディング過程を用いて作製した。測定した 10dBインピーダンス帯域幅は1.27GHzであり,11.95dBiのブロードサイド利得と18.6dBのサイドローブレベルを有する58.5GHzで測定した扇形ビームが得られた。3dBビーム幅はH面において約14°であり,8 dBビーム幅はE面における175°以上であった。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： アンテナ ,  共振器 ,  *ケイ素 ,  利得 ,  パワーデバイダ ,  *EHF波 ,  集積回路 ,  励起 ,  *サイドローブ ,  インピーダンス整合 ,  接地
準シソーラス用語： ビーム幅 ,  インピーダンス帯域幅 ,  基板集積導波路 ,  *スロットアレイ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： アンテナ  (ND06000M)

タイトルに関連する用語 (6件)： ミリ波 ,  応用 ,  シリコン ,  マイクロマシニング技術 ,  サイドローブ ,  スロットアレイ