文献

J-GLOBAL ID：201702244031378596   整理番号：17A0974941

改良型Michelson干渉計を用いたnN力測定

Nanonewton force measurement using a modified Michelson interferometer

著者 (4件)： TAHVILIYAN Masoud (Inst. for Advanced Studies in Basic Sci. (IASBS), Zanjan, IRN) ,  CHARSOOGHI Mohammad A (Inst. for Advanced Studies in Basic Sci. (IASBS), Zanjan, IRN) ,  AKHLAGHI Ehsan A (Inst. for Advanced Studies in Basic Sci. (IASBS), Zanjan, IRN) ,  TAVASSOLY Mohammad Taghi (Univ. Tehran, Tehran, IRN)
資料名： Measurement Science and Technology  (Measurement Science and Technology)
巻： 28  号： 5  ページ： 055205,1-7  発行年： 2017年05月 
JST資料番号： C0354C  ISSN： 0957-0233  CODEN： MSTCEP  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 光偏向検出法に基づく簡単な力測定技術を示した。本技術はμNからnNまでの力を数nNの分解能で測定できる。その為に,二つの軽量円筒形鏡をも持つMichelson干渉計を作製した。一方の鏡は両端を固定し,他方の鏡は上端を固定して他端を自由にし,力敏感レバーとして用いた。初期位置からの鏡の偏向は干渉パターンを変化させる。これらの変化を解析して,加えた力を決定する。装置を較正し,片持梁の曲げ剛性を決定した。干渉計による位置決定精度は20nmであり,これは5nNの力不正確さに対応する。しかし,系統的不確実性は力の強さに依存し,0.5~1000nNの力に対して0.05~10nNである。

シソーラス用語： *Michelson干渉計 ,  *計測 ,  光偏向 ,  干渉縞 ,  *干渉測定 ,  センサ
準シソーラス用語： 干渉パターン ,  力センサ ,  *力測定

分類 (1件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

タイトルに関連する用語 (2件)： Michelson干渉計 ,  力測定