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J-GLOBAL ID：201702244060873380   整理番号：17A0465022

マイクロマシン製の流体慣性センサ

Micromachined Fluid Inertial Sensors

著者 (2件)： LIU Shiqiang (Tsinghua Univ., Beijing, CHN) ,  ZHU Rong (Tsinghua Univ., Beijing, CHN)
資料名： Sensors (Web)  (Sensors (Web))
巻： 17  号： 2  ページ： WEB ONLY  発行年： 2017年02月 
JST資料番号： U7015A  ISSN： 1424-8220  CODEN： SENSC9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロマシン製流体慣性センサは慣性センサの中でも重要なセンサであり,前世紀末以来約20年間開発されてきた熱加速度計と流体ジャイロスコープを含んでいる。従来のシリコン製や水晶製の慣性センサに比べて流体慣性センサは可動感度部品として確実な質量を持つ固体の代わりに流体を使用して,構造単純・低コスト・高衝撃体力・測定範囲を持たせるが感度と帯域幅は犠牲にしている。過去20年間の多くの研究と各種設計が報告されている。本報は先ず流体慣性センサの作動原理を紹介し,次に関係する研究を示した。熱対流に基づくマイクロマシン製熱加速度は開発が成熟して商品化されている。しかし,噴流や熱流に基づくマイクロマシン製流体ジャイロはまだ成熟度が低い。熱加速度計の主要な課題と技術は主に帯域幅・温度補償・一体化・三軸加速度計・大量生産戦略などであり,要約して論じた。マイクロマシン製流体ジャイロスコープについては,一体化と感度の改良・熱誤差と相互結合誤差の低減が最も重要な課題である。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： センサ ,  *マイクロマシン ,  *流体 ,  感度 ,  加速度計 ,  帯域幅 ,  ジャイロスコープ ,  減少
準シソーラス用語： *慣性センサ ,  MEMSジャイロスコープ ,  誤差低減

分類 (1件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (3件)： マイクロマシン ,  流体 ,  慣性センサ