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J-GLOBAL ID：201702244177505057   整理番号：17A0027172

H₂/Ar ECRプラズマ処理によるCdTeガンマ線検出器の性能向上

Improving the Performances of CdTe Gamma Ray Detectors by H₂/Ar ECR Plasma Processing

著者 (5件)： Niraula M. (Graduate School of Engineering, Nagoya Institute of Technology, Nagoya, Japan) ,  Yasuda K. (Graduate School of Engineering, Nagoya Institute of Technology, Nagoya, Japan) ,  Kitagawa S. (Graduate School of Engineering, Nagoya Institute of Technology, Nagoya, Japan) ,  Kojima M. (Graduate School of Engineering, Nagoya Institute of Technology, Nagoya, Japan) ,  Agata Y. (Graduate School of Engineering, Nagoya Institute of Technology, Nagoya, Japan)
資料名： IEEE Electron Device Letters  (IEEE Electron Device Letters)
巻： 37  号： 8  ページ： 1059-1062  発行年： 2016年 
JST資料番号： B0344B  ISSN： 0741-3106  CODEN： EDLEDZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高抵抗(111)CdTe結晶のH₂/Ar電子サイクロトロン共鳴プラズマ処理を研究して,検出器の漏れ電流およびガンマ線検出特性に及ぼす影響を発見した。全ての結晶を,プラズマ処理に先立って臭素-メタノール(BM)溶液中で化学的にエッチングして,平滑な表面を得た。プラズマ処理した検出器では,未処理のものと比較して,表面とバルク両方の漏れ電流の顕著な減少を観察した。検出器のガンマ検出特性,スペクトル分解能およびピーク形状の両方もまた大幅に改善した。X線光電子分光法により,BMエッチングした結晶上に過剰のTeリッチな表面層が存在することを確認したが,プラズマ処理後に,このような層は除去され,表面原子比率が変化した。検出器性能の向上は,結晶の表面化学状態の変化に関連する可能性がある。したがって,これは,検出器性能およびそれらの安定性を改善する有望なプロセスであり得る。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST

シソーラス用語： ECRプラズマ ,  *テルル化カドミウム ,  *γ線検出器 ,  X線光電子分光法 ,  漏れ電流 ,  エッチング ,  プラズマ処理 ,  結晶 ,  検出器 ,  テルル ,  γ線 ,  プラズマ
準シソーラス用語： *CdTe ,  Te

分類 (2件)： 固体デバイス一般  (NC03010Z) ,  測光と光検出器一般  (BD07031F)

タイトルに関連する用語 (6件)： H2 ,  Ar ,  ECRプラズマ ,  CdTe ,  ガンマ線検出器 ,  性能向上