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J-GLOBAL ID：201702244222989770   整理番号：17A1457598

透明フロートガラス上のスパッタ被覆した薄いNiCr膜のパーコレーション厚さの研究【Powered by NICT】

Investigation of percolation thickness of sputter coated thin NiCr films on clear float glass

著者 (3件)： Erkan Selen (SISECAM Science and Technology Center, Cumhuriyet Mah. Sisecam Sok. No: 2, 41400 Gebze, Kocaeli, Turkey) ,  Arpat Erdem (SISECAM Science and Technology Center, Cumhuriyet Mah. Sisecam Sok. No: 2, 41400 Gebze, Kocaeli, Turkey) ,  Peters Sven (SENTECH Instruments GmbH, Schwarzschildstr. 2, 12489 Berlin, Germany)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 421  号： PB  ページ： 373-377  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 反応性スパッタしたニッケル-クロム(NiCr)薄膜のパーコレーション厚さを本研究で報告する。1~10nmの厚さをもつニッケル-クロム膜をdcマグネトロンスパッタリングにより4mm透明ガラス基板上に堆積した。屈折率,消衰係数,シート抵抗,キャリア濃度とNiCr膜の移動度のような光学的性質を可変角度分光偏光解析法と四点プローブ測定の組合せにより決定した。電気および光学的手法による大気中のパーコレーション現象と薄いNiCr膜の臨界パーコレーション厚みの両方を示した。二つの方法は互いに一致した結果を与えた。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *パーコレーション ,  キャリア密度 ,  反応性スパッタリング ,  プローブ ,  屈折率 ,  移動度 ,  薄膜 ,  光学的性質 ,  マグネトロンスパッタリング ,  シート抵抗
準シソーラス用語： 分光偏光解析法 ,  消衰係数 ,  ガラス基板 ,  *スパッタコーティング ,  *フロート硝子 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 分光偏光解析法 ,  パーコレーション ,  シート抵抗 ,  薄膜

分類 (3件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  腐食  (WB03030B)

タイトルに関連する用語 (5件)： フロートガラス ,  スパッタ被覆 ,  パーコレーション ,  厚さ ,  研究