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J-GLOBAL ID：201702244231666351   整理番号：17A1344854

CMOSにおける多機能ナノプラズモン光構造を用いた完全集積化蛍光バイオセンサオンチップ【Powered by NICT】

Fully Integrated Fluorescence Biosensors On-Chip Employing Multi-Functional Nanoplasmonic Optical Structures in CMOS

著者 (4件)： Hong Lingyu (Department of Electrical Engineering, Integrated Microsystems Research Laboratory, Princeton University, Princeton, NJ, USA) ,  Li Hao (Haw Yang Laboratory, Department of Chemistry, Princeton University, Princeton, NJ, USA) ,  Yang Haw (Haw Yang Laboratory, Department of Chemistry, Princeton University, Princeton, NJ, USA) ,  Sengupta Kaushik (Department of Electrical Engineering, Integrated Microsystems Research Laboratory, Princeton University, Princeton, NJ, USA)
資料名： IEEE Journal of Solid-State Circuits  (IEEE Journal of Solid-State Circuits)
巻： 52  号： 9  ページ： 2388-2406  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0761A  ISSN： 0018-9200  CODEN： IJSCBC  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 可視範囲で作動するシリコンにおける集積光学システムオンチップは複雑な光学装置の超小型によるセンシングとイメージングにおける新しい応用を可能にするに大きな影響を与えることができる。CMOS技術は大規模多数の画素をもつイメージセンサのための光検出回路の統合を可能にした。本論文では,電気的相互接続層で実現されたサブ波長金属ナノ構造,特徴サイズは,サブ100nm範囲で光相互作用を利用することにより,CMOS内部の複雑な光場処理要素を実現する技術に焦点を当てた。特に,広い範囲の入射角の全域で除去比を50dB以上のできる統合ナノプラズモン導波路フィルタを用いた65nm CMOSにおける完全集積化蛍光に基づく生体分子センサを提示した。集積光検出回路,容量TIA,と相関二重サンプリング回路と協調設計し,センサは,製造後,外部光フィルタ,レンズ,またはコリメータを持たないほぼ 62dBの蛍光/励起比をもつ光検出器電流の52fAで表面に48zeptomoles量子ドットを検出することができた。後処理を用いたCMOSにおける独特の光学特性を持つ複雑なナノプラズモン金属構造を統合しない能力は,単一チップと広範囲の応用に大きな多重化アッセイを可能にし,in vitroからin vivoまでのの機会となる。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *蛍光 ,  光検出器 ,  *センサ ,  相互接続 ,  光学的性質 ,  画素 ,  ケイ素 ,  *CMOS ,  入射角 ,  イメージセンサ ,  集積光学 ,  量子ドット ,  画像処理 ,  多重化 ,  光学フィルタ

分類 (2件)： 半導体集積回路  (NC03162T) ,  光通信方式・機器  (ND10000B)

タイトルに関連する用語 (5件)： CMOS ,  多機能 ,  プラズモン ,  集積化 ,  蛍光