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J-GLOBAL ID：201702244318274208   整理番号：17A1620649

アルゴン雰囲気内のマクロ多孔質シリコン焼結の特性

Characteristic Properties of Macroporous Silicon Sintering in an Argon Atmosphere

著者 (4件)： ASTROVA E. V. (Ioffe Inst., St. Petersburg, RUS) ,  PREOBRAZHENSKIY N. E. (Ioffe Inst., St. Petersburg, RUS) ,  PAVLOV S. I. (Ioffe Inst., St. Petersburg, RUS) ,  VORONKOV V. B. (Ioffe Inst., St. Petersburg, RUS)
資料名： Semiconductors  (Semiconductors)
巻： 51  号： 9  ページ： 1164-1173  発行年： 2017年09月 
JST資料番号： T0093A  ISSN： 1063-7826  CODEN： SMICES  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 不活性気体中のマクロ多孔質シリコンの焼結をより詳細に調べ,この過程の特徴を明らかにした。等時間,等温アニーリングを行い,多孔質層内の孔と表面外皮の開口の平均的な大きさの温度および時間依存性を調べ,多孔質構造の変換を支配する機構を解析した。内部の孔の大きさの温度依存性と変化の動力学は,表面とバルク拡散を経由する焼結で,表面機構が大きく関わってケイ素原子の輸送が起こることを示した。

シソーラス用語： *多孔質体 ,  *ケイ素 ,  *焼結 ,  *アルゴン ,  *焼なまし ,  *多孔性 ,  細孔 ,  表面構造
準シソーラス用語： *マクロ多孔質 ,  等温焼なまし

分類 (2件)： 熱処理技術  (WC03020T) ,  半導体の表面構造  (BK15030A)

タイトルに関連する用語 (4件)： アルゴン雰囲気 ,  マクロ ,  多孔質シリコン ,  焼結