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J-GLOBAL ID：201702244858362332   整理番号：17A0635616

流体力学的キャビテーションを生成することができるマイクロチャネル形状を達成するための簡単なプロセス

A simple process to achieve microchannels geometries able to produce hydrodynamic cavitation

著者 (4件)： QIU X ,  CHERIEF W ,  COLOMBET D ,  AYELA F
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 27  号： 4  ページ： 047001,1-6  発行年： 2017年04月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 流体力学的キャビテーションは,静圧が流体の蒸気圧P_vapを下回ったときの液相の蒸気相への移行である。本研究では,これらの限界を克服するために,内部にマイクロステップを備えた陽極接合された,パイレックス-シリコンチャンネルを設計することが簡単なプロセスを提案した。強いキャビテーション流を送達することができるマイクロチャネルを実施するために,2つのKOHエッチング段階を含む単純なプロセスを提案した。マイクロステップはチャネルの全幅に及んだ。実験は,プロセスおよび単純な流体力学モデルの妥当性を確認した。収縮した断面の全断面積に対する比率は,キャビテーションの発生が起こりそうな圧力降下の最小値を決定する重要なパラメータであることが分かった。

シソーラス用語： *キャビテーション ,  *マイクロチャネル ,  静圧 ,  *蒸気圧 ,  液相 ,  気相 ,  *圧力損失 ,  *接合
準シソーラス用語： 流体力学キャビテーション ,  陽極接合

分類 (2件)： 膜流,液滴,気泡,キャビテーション  (BC02070U) ,  管内流  (BC02090Q)

タイトルに関連する用語 (4件)： 流体力学 ,  キャビテーション ,  マイクロチャネル ,  プロセス